中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9282682 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体デバイス製造用に設計された多機能拡散炉装置です。TEL ALPHA-8SEは1000°Cから2200°Cの範囲の低温プロセスおよび高温プロセスが、可能です。ダイバータ式モニタ、近接センサ、自動リモートスイッチング機能など、最先端の技術を搭載しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、プロセスの均一性と温度均質性を最大限に高めるための石英とセラミック反応チューブを内蔵し、ウェハの均一性と歩留まりを向上させます。その低温高温プロセス機能と独自の高温ガリウムヒ素プロセス機能により、デバイス製造メーカーはさまざまな半導体プロセスで最適な結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eには、最先端の排気システムが搭載されており、マルチステッププロセス時に最適なプロセスの均一性と温度均質性を得るために、最大3つのローラーで構成することができます。高度なリアルタイム診断モニタリング機能により、ユニットのパラメータをいつでも正確に制御できるため、ウェーハの均一性が向上し、歩留まりが向上します。TEL ALPHA 8 S Eのクイックスタート機能により、堅牢なプロセス監視と高スループットを実現し、セットアップとプロセス時間を短縮します。また、デュアルチューブマシン構成に加えて、自動ガスライン入力も備えており、マルチステッププロセスに最適です。ウェーハホルダーの水温を正確に調節するだけでなく、チャンバー内の正確な温度を保証する自動温度制御カップで設計されています。TEL ALPHA-8 SEには、プロセスの可視化やリアルタイムの変更を容易に行える操作監視ツールなど、様々なアプリケーションで使いやすい機能が搭載されています。その自動リモートスイッチング機能により、複数の拡散ツールを同時に接続でき、異なるツール間の切り替えが容易になります。アセットの操作を簡素化するために、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。さらに、Alpha 8SEは、過電流プロテクター、非常停止ボタン、水圧破裂検出器、高温クーラントモデルなど、適切な動作を保証するために多くの安全機能を備えています。また、個々のラインを分離するためのリモートインターロックを備えており、偶発的なクロス汚染のリスクなしに複数のプロセッサを動作させることができます。ALPHA 8S-Eは、あらゆる半導体デバイス製造アプリケーションに最適な堅牢で汎用性の高い拡散炉です。その高度な機能は、研究開発だけでなく、量産目的に適しています。