中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9260381 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE拡散炉は、半導体材料・デバイスの製造・制御に使用される最先端の半導体製造装置です。この炉は、温度と大気を正確に制御する必要がある多種多様な重要な拡散プロセスのために設計されています。この先進的な装置は、異なるサイズと形状のウェーハを均一に処理する能力と優れた再現性により、半導体部品の実験および製造に最適です。炉は気密のステンレス鋼の部屋の組を使用して、それぞれ独自に制御された温度および大気と組み立てられます。これにより、拡散温度を完全に制御しながら、同じプロセス内で複数の基板を均一に処理できます。チャンバー内では、誘導コイルのペアがウェーハを所望の温度レベルに正確に加熱し、安定した拡散環境を維持することができます。環境は、実施されている拡散プロセスの種類に応じて、周囲大気または不活性ガスのいずれかによって維持することができます。この炉には制御システムが内蔵されており、オペレータは各ウェハのチャンバー内の温度をポイント・ツー・ポイントで調整し、精度を高めることができます。また、オペレータは温度プロファイルをプログラムして拡散温度で移動させることができ、均一で再現性のある結果を得ることができます。炉に使用される高品質の断熱材は、熱損失を低減するだけでなく、チャンバー全体の温度安定性と均一性を維持します。TEL ALPHA-8SEには、高性能な機能に加えて、お客様のニーズに対応する機能をさらに強化するために、さまざまなアクセサリーが付属しています。これらには、自動積み下ろしシステム、窒素源、およびデジタルチャージャーユニットが含まれます。この拡散炉は、低温アプリケーションから高温プロセスまで、幅広い拡散プロセスに適しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE拡散炉は、半導体部品の製造および試験に使用できる強力で汎用性の高いツールです。最先端の設計により、最高品質の結果が一貫して確実に生成され、温度と大気を完全に制御できます。このデバイスに使用可能なアクセサリの範囲は、さらなるカスタマイズを可能にし、業界や研究で働く人々にとって理想的な選択肢となります。