中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9237580 を販売中
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販売された
ID: 9237580
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1999
Vertical furnace, 4"
Process: CAP-SIN
Layout type: U/Box type
LL Hand
Heater type: VOS-40-017 FTP
Rapid cooling unit
TORAY LC-750 N2 Purge system
O2 Densimeter
Pressure control: CKD
SMIF Not installed (I/O Type)
Wafer transfer: 1+4 Pitch change
(21) Cassette stockers
(100) Process wafers
Power supply: 208VAC / 208VAC, 1-Ph / 3-Ph
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、先進的な半導体デバイス製造プロセス向けに設計された産業用拡散炉です。精密温度、圧力、フローコントローラを搭載し、高速かつ高精度な機能を提供します。TEL ALPHA-8SEは、超低熱ドリフトと優れた保護で設計されており、デバイス製造プロセス中の安全性と信頼性を確保します。このモデルは、広域加熱を可能にする8ゾーンの円筒形加熱トラックを備えており、加熱領域全体で均等に加熱することができます。さらに、温度プロファイル調整機能を備えているため、加熱プロファイルを加工する材料に合わせて正確に変更することができます。その大きなアクセスドア、最適化された通気口、および気流設計は、拡散プロセスの安全性と効率を確保するのにも役立ちます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEはマルチステップリモートコントロールも備えており、複数点からの拡散プロセスを調整することができます。また、材料のスムーズで効率的な積み下ろしを保証するための、さまざまな自動材料搬送システムも含まれています。その低振動特性は、ダイナミックエアベアリング、マイクロ振動センサ、およびアクティブ振動制御を提供することにより、プロセスをさらに簡素化します。これにより、拡散プロセス中の部品へのストレスを軽減し、汚染を低減します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEは、さまざまなアクセサリーや消耗品との互換性のために設計されています。専用サンプルホルダー、石英チューブ、アダプター、自動充電システム、ガスボンベ、高純度の消耗品などがあります。これにより、ユーザーは最適な結果を得るために拡散プロセスを調整することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SEは、半導体デバイスの製造に最適な、高度で高性能な拡散炉とアクセサリーです。高度な温度、圧力、およびフローコントローラ、低振動機能、および自動材料搬送システムの範囲により、デバイス製造プロセスの安全性、信頼性、精度が保証されます。
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