中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9233746 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、高度な研究開発のために設計された高度な拡散炉とアクセサリーです。独立した暖房および冷却ゾーンを備えた8つの独立した自律チャネルを備えているため、大規模な研究開発ラボのバッチプロセスに最適です。TEL ALPHA-8SEは、各ゾーンを正確に制御し、セットアップと再現性のある結果を容易にする高度なコントローラを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEのメインチャンバーはステンレススチール製で、最大8インチウエハーの積み降ろしが可能です。部屋は基質の均一な暖房そして冷却を保障するために絶縁材を統合しました。ウェーハローダーとアンローダーには、操作が容易な真空クランプが装備されており、さらなる安全性を提供します。アルファ8SEは最大1200°Cの最高温度を2時間まで保持することができ、高温処理のために指定されています。この高温機能は、効率的で非常に急速な加熱と冷却が可能な高度な流動床熱源によって駆動されます。また、熱源にはグラファイトライナーを使用しており、加工中に注入できる腐食性ガスにも耐性があります。ALPHA 8 S Eは、チャンバー全体にリアルタイムの温度および圧力センサーを使用し、予測アルゴリズムを使用して最高のプロセス精度を保証する高度なプロセス制御システムを備えています。これは、オペレータがプロセス全体を制御することができます7インチのタッチスクリーンユーザーインターフェイスが装備されています。また、TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEは、さまざまなサードパーティ製アプリケーションと互換性があり、プロセス制御システムと統合することができます。東京電子ALPHA-8SEには、ガスパネルや避難パネルなど、さまざまなアクセサリーが付属しており、完全かつ信頼性の高い拡散炉システムを提供するように設計されています。また、迅速なランプ速度とプロセスの完全な柔軟性のために、さまざまなプロセス容器と互換性があります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SEは、安全センサーとプロトコルを内蔵した完全自動システムです。TEL ALPHA 8S-Eは、大型研究開発ラボ向けの優れた拡散炉です。その堅牢で信頼性の高い設計、高度なコントローラ、アクセサリーは、バッチプロセスと高度な研究開発に最適です。