中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9223519 を販売中
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販売された
ID: 9223519
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
Vertical LPCVD furnace, 8"
High temperature oxidation
ASYST Indexer in built
Handler system: TEL Robot
Utility box
Transformer
UPS
CIM Linked
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体デバイス製造用に設計された拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、高度な技術を利用して、高効率で正確な方法で基板にドーパント種を加熱し、均等に拡散させます。TEL ALPHA-8SEは、製造する半導体デバイスの種類に応じて幅広いニーズに対応できるPC制御システムです。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、最大4kgの積載能力を持つ高効率チャンバを備え、より大きなウェーハを一度に処理することができます。このユニットは高度に自動化されており、TEL専用のTornado™を備えています。Auto Set温度制御機は、ユーザーが一般的なレシピとサイクル時間を節約し、プロセスの効率と精度を大幅に向上させることができます。Tornado™-Auto Set温度制御ツールを使用すると、ユーザーは信頼性の高いデバイス製造に不可欠な正確な温度プロファイルと迅速なサーマルサイクリングを簡単に取得できます。ALPHA 8 S Eには、外部結晶オーブンとの結晶オーブン接続や、東京エレクトロン独自のマルチガス注入アセット(MGIS)などの高度な機能も搭載しています。MGISは、ドーピング精度を高めるために、チャンバーに複数の活性ガスを正確に注入することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eは、室温から摂氏1000度までの幅広い温度範囲を備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eは、故障時に直ちに電源とガス供給バルブを遮断するアラームやインターロックを備え、安全性を考慮して設計されています。これらの機能は、オペレータや機器の安全性を確保し、誤った使用や不適切な使用からデバイスを保護するのに役立ちます。ALPHA-8SEはモジュラー設計で来、取付け、維持し易いです。ユーザーフレンドリーなUIも備えており、非常に汎用性が高いです。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Eに搭載された先進技術により、さまざまな半導体デバイスの製造に最適なモデルです。
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