中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087 を販売中
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販売された
ID: 9216087
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体製造プロセスに特化したシングルウエハ・高温拡散炉・アクセサリーです。TEL ALPHA-8SEは、最新の半導体メーカーの要求を満たすように設計された完全自動生産炉です。各ゾーンで正確な温度と大気の制御を可能にし、プロセス全体で均一な温度を保証する8ゾーン制御を備えています。各8つのゾーンには、異なるサイズのワークに対応する個別に調整可能なヒーター電源が装備されています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEのホットゾーン温度を1250°Cまで上げることができ、より高温の拡散プロセスに対応できます。ALPHA 8 SEには、精密な温度制御を可能にする熱電対ポジションセンサ技術も搭載されています。各ワークの温度を監視し、均一な温度分布を実現します。この最先端の技術は、拡散プロセスで優れた性能と信頼性を提供します。最大の安全性と利便性のために、ALPHA 8 S Eは、プロセス雰囲気圧の継続的な監視を可能にする内部圧力モニターを備えています。また、TEL ALPHA 8 S Eは、温度分布を均一にするために、プロセス雰囲気流量を調整可能な自動ガス流量制御を備えています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eは、リモートプロセスモニタリング、洗練されたインターロックシステム、過熱保護、ユーザーフレンドリーなプロセスプログラムデータ入力を提供します。ALPHA 8S-Eは、幅広い半導体グレードの特殊ガスと互換性があり、自動ガスラインのパージとフラッシング機能を備えています。密閉されたエンクロージャ、改良されたガスの流れシステム、および自動凝縮物の取り外しのために維持することはまた容易です。半導体メーカーは、アルファ8SEを活用することで、高精度で信頼性の高いウェーハを製造することができます。それは正確な温度および大気制御を要求する半導体プロセスのための耐久、信頼でき、有効な選択です。
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