中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9192195 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、金属などの半導体への蒸着に使用される拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は、材料が反応室を出入りすることを可能にする入口と2つの出口ポートからなる垂直原子炉管設計に基づいています。TEL ALPHA-8SEは、ユーザーに高温で超純度の蒸着環境を提供し、均質または非均質膜のいずれかを堆積する柔軟性を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、300°C、 1,000°Cまでの低温に達することができる高度な加熱装置を備えています。この炉は、2つの微調整されたグラファイトライニング加熱チャンバで構成されており、それぞれが独立したPIDによって制御されており、正確な温度管理が可能です。2つの加熱チャンバは同時に作動し、蒸着プロセス中の優れた均質性を実現します。ALPHA 8S-Eには、温度ランプ用の追加の4方向絶縁バルブを装備する機能もあります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE炉は、堆積物の整合性と均一性を確保するための高度な技術を提供しています。拡散チャンバは、独立した圧力制御システム、モジュール設計、および不活性ガス注入ユニットを使用して、基板のゼロ接触汚染を保証します。さらに、高性能なセンサーとEビーム検出器を採用し、常に正確なデータ読み取りを実現しています。TEL Alpha 8SEには様々な用途に最適化されたアクセサリーやモジュールが揃っています。例えば、炉は、制御された直線的な方法でチャンバーを介して基板を動作させるコンベアを装備することができます。また、火災予防装置、ESD保護装置、UV保護装置など、さまざまな安全機能を備えています。TEL ALPHA-8 SEは、精密な蒸着結果を得ることができる高度で大規模な熱蒸着ツールを求める方に理想的な拡散炉です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHAは、高精度な温度管理に加え、各種の安全機能や汚染防止機能を組み合わせることで、業界において信頼性の高い長期的な性能を必要とするお客様に最適な製品と8S-Eています。