中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9093709 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、水平シングルウェーハ技術を採用したコスト効率の高い熱処理ソリューションを求めるファブ向けに設計されたシングルウェーハ拡散炉です。ウェーハトポロジの特許取得済みの技術革新、温度均一性を維持するための垂直加熱チャンバー、およびさまざまなプロセスガス機能を備えています。TEL ALPHA-8SEは、高温ガスを使用して水平ウェーハのウェーハを酸化・低減する拡散炉です。これには、最大1400°Cの温度に達することができる内部加熱板を備えた垂直加熱チャンバーが含まれており、表面全体にわたって± 2°Cの均一性があります。このシステムの熱容量と均一な温度制御により、数秒から数時間のプロセス時間で優れた熱処理制御が可能になります。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、Ar、 H2、 N2、 N2O、 O2、およびその他のガスの使用をサポートする最新のプロセスガス技術も実装しています。このユニットには、マルチステップガス制御機が含まれており、ユーザーは個々のガス部品のガスの流れと混合比を正確に制御することができます。また、最大8つの抽出バルブをサポートしており、ユーザーは拡散レシピをカスタマイズできます。さらに柔軟性を高めるために、追加のウェーハホルダー、ウェーハハンドリングコンポーネント、CVDバックサイド冷却ツール、および保証された処理温度モニタなど、幅広いアクセサリを備えています。東京電子ALPHA 8 S Eには、メンテナンス、運用プロセス、熱検査および測定のためのコンピュータ制御支援設備もあります。ALPHA 8 SEは、半導体メーカー向けの高効率で費用対効果の高い拡散ソリューションです。その柔軟で信頼性の高い設計は、精度とカスタマイズ可能なプロセスレシピを追加して、さまざまな半導体アプリケーションを処理するために使用できます。高度なガス制御アセットや複数のプロセスガス機能などの機能により、熱処理を成功させながら一貫したバッチ・ツー・バッチ小型化を実現します。