中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9073199 を販売中
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販売された
ID: 9073199
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Doped poly furnace, 8"
System Hand LL
Side Maintenance: No
System Paint Color: White
Furnace Front Surface Finish: Stainless Steel
Process Pressure: 500 mTorr
Process Temperature: 800ºC
FTP Heater: Installed
Rapid Cooling Unit: Installed
Heater Type: FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System: Installed
02 Densimeter Model: Toray LC750
SMIF: Not Installed
SMIF POD (maker/model): N/A
SMIF OEM Probe (maker/model): N/A
AGV Compatibility: Installed
Process Gases:
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 SiH2Cl2 (DCS)
Process Gas 4 N2O
Process Gas 5 SiH4
Process Gas 6 NH3
Process Gas 7 PH3 5%/He
Process Gas 8 SiCl4
Process Gas 9 H2
CE Marked
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、先端製品や材料の製造に使用される拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、主に集積回路、トランジスタ、その他の近代的な部品などのシリコンベースの半導体デバイスの製造に使用されます。TEL ALPHA-8SE拡散炉は、これらの部品の複雑な詳細と副産物を形成し、より効率的で費用対効果の高い生産を支援します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE拡散炉は、幅広い機能を備えたシングルウエハ炉です。内蔵ウェーハチャンバー内の温度を検出して測定する一連のパイロメータを備えており、一貫した製品品質を確保するためのリアルタイム調整を提供します。また、最新の絶縁ユニットと高温抵抗を備えているため、炉は最高1400°Cの温度に安全に到達できます。この機能は、化学ベースの冷却機を設置することでさらに強化され、デバイスの製造中にユーザーがより多くの制御と精度を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Eは、タッチスクリーンインターフェースを内蔵しており、炉内のウェーハや材料加熱プロセスを監視することができます。それはある特定の環境のためにプログラムすることができ、異なった設備条件に合わせることができます。安全対策の一環として、このツールには過剰な圧力の蓄積を防ぐ圧力弁があります。また、東京エレクトロンアルファ8S-Eには、炉の製造工程に組み込むことができるアクセサリー部品が豊富に揃っており、デバイスの可能性を広げています。TEL ALPHA 8S-E拡散炉は、最新の生産基準を満たし、それを上回る信頼性の高い効率的な資産です。その高度な機能は、製品の製造に必要な精度と詳細をユーザーに提供します。さらに、より費用対効果が高く、材料生産を管理しやすくするのに最適です。この柔軟性と汎用性により、TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは多くの産業施設に最適です。
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