中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751 を販売中
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販売された
ID: 9065751
ウェーハサイズ: 8"
Doped poly furnace, 8"
System layout type
System hand LL
Side maintenance no
System paint color white
Furnace front surface finish SUS polished #600
Process pressure 500 mTorr
Process temperature 620C
Mid temp VMM-40-101, 5 zone
NGK SH-302
Non SMIF
Process gases
Process gas 1 Pure N2
Process gas 2 SiH4
Process gas 3 5% PH3/N2
Process gas 4 0.5% PH3/N2
(4) Heater chambers
CE Marked
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、シリコンなどの半導体材料を精密に供給するために設計された拡散炉です。この8チャンバー炉は、各チャンバーに独立した温度とガス制御を備えており、高級半導体材料のガス流量と量産を正確に制御することができます。各部屋の評価される力は600W、 1150°Cまで温度を支えることができます。TEL ALPHA-8SEには、ユーザーのニーズに合わせて設定をカスタマイズできるアクセサリーが多数付属しています。クオーツチューブ、アイソレーションリング、メッシュコンベアを搭載し、さまざまなウェハサイズをサポートします。また、東京エレクトロンALPHA-8 SEにはPC制御のPID温度・ガス制御装置が搭載されており、監視や正確な温度調整が容易に行えます。その他の機能としては、± 1°Cより優れた温度均一性、およびイーサネットプロトコルを使用した周辺機器との通信機能があります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eには、プロセスに適した真空レベルを確保する独自の真空ポンプも搭載しています。この真空システムは、単段の微小分子ポンプ、真空ゲージ、およびポンプ力を高めるための真空ブースターで構成されています。100リットル/分のポンプ速度で、この真空ポンプはユニットの迅速な避難が可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、基本機能とは別に、ユーザーエクスペリエンスを向上させるための様々な機能を提供しています。例えば、それはあなたがワンクリックで呼び出すことができる20までの異なるレシピを格納することができます高度なレシピコントローラーを持っています。また、ダウンタイムの削減に役立つ自動クリーニングマシンとエネルギー節約に役立つエネルギーモニタリングツールを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、半導体材料の温度やガスの流れを正確に制御する必要がある方に最適です。パワフルな出力と革新的な機能により、この拡散炉とアクセサリーセットがなぜ人気があるのか不思議ではありません。
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