中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体加工などに使用される多目的高周波拡散炉です。それは精密な温度調整および均一な暖房が付いている内部水晶管を特色にします、それは処理変数の精密な制御を可能にします。水晶チューブは窒素充填ガスシールドに囲まれており、不活性な雰囲気と優れた断熱性を提供します。この炉には、正確な温度制御を提供するように特別に設計された精密な周波数制御装置が装備されています。このシステムは、頻繁な手動調整の必要性を排除し、再現可能な加熱時間と定常状態の条件を可能にします。また、パワーレシオ制御機を搭載し、均一な熱分布のための高速かつ正確な温度制御を実現しています。TEL ALPHA-8SEには、サンプルローディングツールと統合されたローディングステーションが装備されています。最大8個のウェーハまたは基板をいつでも近接してロードすることができます。さらに、サンプルローディングアセットの設計により、ローディング、アンロード、およびハンドリング中に製造のoptomechanicalアライメントが維持されます。東京電子ALPHA-8 SEは、拡散サイクルを高度に制御します。温度ランプ、時間密度プロファイル、サイクル終点検出の正確な制御を提供します。高負荷アプリケーションには、サイクル間のバリエーションを制限するためのヒーターのオン/オフモジュレーションを提供する急速な回復モデルが装備されています。ALPHA 8S-Eのオートメーション機能は、一連のプロセス監視ツールを備えた使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。また、装置は最大1200個のプロセスパラメータを監視し、高度なプロセス制御と製造プロセスの完全なトレーサビリティを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEは、窒素パージ用の電動シャッターや不活性ガススクラブ/分離用のドライガスフィルターなど、数々の先進的なアクセサリーも取り揃えています。ALPHA 8 SE拡散システムは、SEMI S8およびISO14644-1規格に準拠した高度な排水除去ユニットも提供しています。これにより、放出された空気は安全で環境に準拠したレベルで維持されます。炉はまた、堅牢で信頼性が高く、効率的であるように設計されており、顧客の要求を満たすためにさまざまなオプションがあります。