中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248 を販売中
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販売された
ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8"
Flat / notch type: Notch
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Not use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: WAVES V3.11 R0008
HDD capacity: 4.3 GB
TEB 408-11 HDMC
SVA 031
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Configuration: Alpha-8SE
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V
Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
MFC flow:
MFC1: STEC N2, 20 SLM
MFC2: STEC N2, 200 SCCM
MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM
MFC4: STEC N2, 5 SLM
MFC5: SAM CLF3, 5 SLM
MFC6: STEC TMB, 300 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Model 560A
Pressure controller: PCU1000 (PCV control)
Mecha controller: T-Bawl
Burn controller: None
MFC controller: None
Powered off
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、半導体の高品質な製造を実現するために設計された先進的な拡散炉およびアクセサリ装置です。このシステムは、クォーツチャンバー、ウェーハボート、ベルジャー、およびウェーハボートをチャンバーに配置する耐熱自動リフトアセンブリで構成されています。クォーツチャンバーは密接結合された熱およびエネルギー均一性を提供するように設計されていますが、ベルジャーは超きれいな労働条件を可能にします。オートリフトアセンブリは、クォーツチャンバー内のウェーハボートへの容易なアクセスと最小限のストレスで正確な位置決めを保証します。TEL ALPHA-8SE炉は、高度な高耐久性、厚膜ヒーターも備えています。このヒーターは500ワットまでの力および150 ワット/cm2までアニーリングエネルギーを提供できます。また、25°Cから1200°Cまでの広い温度範囲を提供しています。温度制御ユニットを内蔵したグラファイトサセプターにより、正確な熱の制御を可能にし、正確な均一性を確保します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、優れた環境制御機能も備えています。それは周囲の空気、乾燥した空気および他のガスの範囲と互換性があるプロセスで、改善された環境の条件のためのフィルターなしの設計があります。さらに、高純度壁と屋根、低圧オプション、およびその他の高度なBPSGおよび化学蒸着機能を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEには、幅広い機能が搭載されています。これには、直感的なジョイスティック制御、オンボードマスタプログラマブルロジック制御、タッチスクリーンデータ入力ツールを備えた統合された電気駆動機が含まれます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Eには、高度なエネルギー効率アセット、独立した温度上昇モデル、強化されたレシピライブラリが搭載されています。東京電子ALPHA-8SE拡散炉とアクセサリ装置は、半導体デバイスの高品質な製造を実現するとともに、高いエネルギー効率と環境適合性を維持するよう設計されています。その機能と運用能力の範囲は、化学廃棄物と運用コストを最小限に抑えて、正確な制御と優れた性能を保証します。
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