中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122707 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、様々な産業で使用される先進的な熱化学加工装置です。精度、精度、信頼性の高い最先端の薄膜処理システムの1つです。TEL ALPHA-8SEは、ウェハレベルのバッチプロセスを用いて複数の基板を均一に処理するように設計された拡散炉です。このシステムはまた、非常に柔軟で正確な薄膜蒸着とプラズマエッチングのための多くのオプションを提供する他のいくつかのコンポーネントで構成されています。東京電子ALPHA-8 SE拡散炉には、チャンバー内の温度変化を検出できる赤外線センサ（IRS）を搭載した半導体プロセスチャンバーが付属しています。これは、S-FOC自動フィルム除去ユニット、高効率粒子蒸着機、RFプラテンなど、さまざまなアテンダントアクセサリと組み合わせられています。さらに、このツールには、プログラミングや繰り返し可能なプロセスを簡単に保存できる追加のレシピもあります。高効率、低温蒸着アセットにより、より高速で均一な薄膜蒸着が可能です。RFプラテンは、大面積の基板の滑らかで均一な処理を可能にします。TEL ALPHA 8 SE拡散炉は、ダイナミックガス入口制御を採用し、チャンバーの均一性を向上させ、処理時間を短縮します。高度な制御技術により、ウエハータイプと基板サイズに関係なく一貫した処理が可能です。ウエハレベルのバッチ処理にも優れたスループットを発揮し、最大8個のウエハをサポートし、産業用途に最適です。拡散炉に加えて、ALPHA 8 S Eには、2台の遠隔ファン駆動ペデスタルロボット、プログラマブルクォーツチューブ蒸着モジュール、プラズマエッチングモジュール、その他のさまざまなツールや機器など、さまざまなアクセサリーが含まれています。2つのリモートファン駆動ペデスタルロボットは、ウェハローディングを容易にし、比類のない転送信頼性とプロセスの再現性を提供します。プログラム可能な水晶チューブモジュールは、複雑な材料と自由形状プロファイルの均一な蒸着を提供します。最後に、プラズマエッチングモジュールは不要な材料を除去し、プロセスの品質と均一性を向上させるのに役立ちます。TEL ALPHA-8 SE拡散炉とそれに付随するアクセサリーは、様々な産業でより効率的なプロセスと高品質の製品を得るのに役立つ非常に柔軟で正確な薄膜蒸着およびプラズマエッチング装置を提供します。このシステムは非常に信頼性が高く、最高レベルの精度で高精度な処理を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SEが提供できる信頼性、柔軟性、および精度により、熱処理および化学処理に最適なシステムの1つになります。