中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122706 を販売中
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販売された
ID: 122706
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Thermal process furnace, 8"
Flat type wafer
Signal tower: (4) color
I/O type
Rapid cooling unit
Capacity: (125) wafers per batch
Controller
Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F)
(2) HDD: 4.3 GB
TEB 407 HFE
TEB 408-11 HDMC Rev 2.0B
SVA 041
TEB 107 ECS 5
DVE P 750/51-TR
TEB 103 FPIF
Temperature controller: 560A
Pressure controller: CKD VEL-CP2
WVG controller: WVG-SC-010Y12B2B
Vacuum pump: Ebara A150W-T
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、高品質の先進的なマイクロエレクトロニクス機器を製造するために設計された、最先端の拡散炉と付属品です。最先端の石英セラミック構造と最新のエレクトロニクスを組み合わせ、信頼性と費用対効果の高い製造プロセスを実現します。TEL ALPHA-8SEは、生産性を高め、資源の効率的な使用を可能にする手頃な価格で信頼性の高い方法です。東京電子ALPHA-8 SEの優れた材料、構造、電子機器は、拡散処理のための信頼性と適応性の高いプラットフォームを提供します。それは熱安定性および均一性を保障するために酸素制御された、水晶陶磁器の部屋を組み込み、一貫した、反復可能な性能を保障します。さらに、マルチポイント温度制御と使いやすいプログラマブル制御により、各プロセス内で必要なパラメータを確実に満たします。東京エレクトロンアルファ8SEは、水平コールドウォール設計により、熱損失を低減し、ユニット内部で正確な温度制御を実現します。調節可能な棒は使いやすさを可能にし、プロセス中の均一な温度を保障するために材料滑りを防ぎます。さらに、長波赤外線サーモグラフィーや温度フィードバックなどの機能により、労働者は高価な温度関連の間違いを回避し、プロセスの安定性を向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SEは、Volcano Waferシリーズの拡散ガス混合システムと組み合わせることで、高いウェーハ均一性で迅速なプロセスを実現します。さらに、Ultravac真空バルブとポンプ、フレキシブルロボットを組み込むことで、プロセスを高速化し、手作業の人件費を削減することができます。定期的なメンテナンスとサービスのために、ALPHA-8 SEには簡単なアクセスポイントが含まれており、より簡単で安全な修理を可能にします。さらに、ガストラップ、ビードヒーター、水冷ヒートシンク、ターボ分子ポンプなど、さらなる保護を提供するさまざまなアクセサリーがあり、さらに熱とガス制御を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E拡散炉と付属アクセサリーは、幅広い先進的なマイクロエレクトロニクス機器を製造するための堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。その優れた設計と材料、高度なエレクトロニクスと汎用性の高いアクセサリーは、そのようなデバイスを製造するための最も信頼性が高く、費用対効果の高い方法の1つです。
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