中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、高度な熱処理を実現するために設計された拡散炉とアクセサリーです。その設計は、Power-MOS、専用パワーデバイス、BiCMOS、および高温パッケージなどのさまざまなアプリケーションをサポートしています。TEL ALPHA-8SEは、真空ウエハ搬送装置の拡散炉の中でも際立っており、ウエハを層流絶縁室から拡散炉のプロセスチャンバーに搬送することができます。これにより、拡散プロセス中の最大の清浄度と環境制御が保証されます。また、搬送システムにより、ドアを開けたり、汚染の可能性があるウエハーにさらされることなく、ウェハーの操作が容易になります。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、ハイパフォーマンスで多機能なデジタルプロセスコントローラも備えています。このコントローラは、拡散チャンバ内の温度と圧力を正確に制御し、複雑なプロセスのプログラミングを可能にします。コントローラは温度と圧力を異なる速度でスイープすることができ、基本的なものから最も複雑なものまで、さまざまなプロセスパラメータを設定できます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEは、気体反応物が安全かつ正確に送達されるようにする独自の低圧反応ガス供給機能を備えています。これはまた、拡散プロセスが非常に狭く均一なプロファイルで維持されていることを確認し、反応剤が高圧でサンプルの表面に部分的に拡散しないことを確認します。これにより、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Eは高度な熱処理に最適な装置となります。ALPHA-8 SEはまた、統合された制御ユニットを利用しています。この機械はユーザーが複雑なプロセスおよび事前調整された温度および圧力プロフィールをプログラムすることを可能にします。さらに、この統合制御ツールは、サンプル監視、ガス監視、安全監視、および炉アセットの予防保守および維持管理を担当します。東京電子アルファ8S-E拡散炉の効率と信頼性を最大限に高めます。アルファ8SE拡散炉は、設計と建設のため、汚染を最小限に抑え、高い再現性と信頼性で熱処理を行うことができます。これにより、高度な熱処理や研究に最適です。さらに、TEL ALPHA 8 SEは、高精度温度制御、高圧反応ガス供給、各種工具との柔軟な統合などの特長を独特に兼ね備えています。