中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590991 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANSは、高性能で信頼性の高い拡散炉です。このシステムは、優れた均一性と歪み制御のための高度なウェーハトランスファーロボットで構築されており、高度なウェーハプロセスに最適なソリューションの1つです。TEL Alpha 8SE-ZVANSは、水平に構成されたα照射拡散炉を使用して、優れた均一性と精度を実現しています。各ウェーハに均一な温度プロファイルを備えており、中心温度は摂氏1,200度、温度は± 2°Cで200mmの範囲で均一です。また、高度な制御ユニットにより、東京エレクトロンアルファ8SE-ZVANSの温度均一性を自動調整することができます。また、酸化ガス発生装置（BOGG）を内蔵しており、酸化物蒸着プロセスの再現性と精度を向上させます。BOGGの低圧プラズマ源は、酸化パラメータを正確に制御することができ、ソルゲルおよびCVD酸化物の品質を向上させるための貴重な財産です。また、アルファ8SE-ZVANSはホットプレートと急速加熱/冷却プレートを備えており、シリコン基板の加工時の均一性を高めます。業界をリードする拡散炉に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANSには、工具の操作性を向上させるためのさまざまなテーラーメイドのアクセサリーが搭載されています。精密ウェーハ位置決め用ACローラーアーム、自動挿入用ウェーハローダー、ECF-Frontロボットなどの優れた資産管理機能を備えています。最後に、このモデルには、ハードウェア機器の監視を改善するための最先端のソフトウェアソリューションも装備されています。これらのソリューションには、AioSoft DB SuiteとAptio Analyze Systemが含まれ、温度制御、均一性、および全体的な性能パラメータなどのリアルタイム分析と洞察力のあるウェーハ情報を提供します。全体的に、TEL Alpha 8SE-ZVANSは、優れた性能を確保するために必要なすべての機能と機能を備えた非常に効率的で信頼性の高い正確な拡散炉ユニットです。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANSは、優れた温度均一性、高度なガス発生器、ホットプレートなどのユニークなアクセサリーを備え、高度なウエハプロセスに最適なソリューションです。