中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590988 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANSは、半導体製造のために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。サブミクロンパターンや導電性金属の堆積が可能です。このシステムには、断熱チャンバーと調整可能なエアインテークと排気口があります。その大きなチャンバーサイズと効率的な温度制御は、3D構造、デュアルレベルの金属化、高アスペクト比のビアなど、非常に高い詳細プロセスを満たすことができます。このユニットは、直径8インチまでのウェーハを処理できます。さらに、その強力なNc制御モーションマシンは、拡散プロセスのすべてのファセットを正確に制御する機能を提供します。TELアルファ8SE-ZVANS拡散炉は、超高温の精度と信頼性を提供します。その自動化されたコンピュータ制御ツール（CCS）は、拡散プロセス全体で温度、圧力、およびその他のパラメータを正確に維持および監視することができます。それは部屋中の安定した温度を維持するのに高度の断熱材を使用します。優れた温度制御アセットとプログラム可能なバルブにより、蒸着、アニーリング、ドーピングの正確な制御が可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS拡散炉には、全自動トランスファーモデルが付属しています。これは、半導体デバイスの高スループットのための人間工学と安全なアンロードのために設計されています。さらに、統合されたシリコンウェーハ監視装置を備えており、ウェーハが汚染されないようにしています。アルファ8SE-ZVANS拡散炉にはラッチシステムも内蔵されており、ウェーハの高速かつ効率的な積み下ろしが可能です。また、拡散プロセス全体で一貫したチャンバー条件を維持するために調整可能な背圧を提供します。さらに、ユニット全体の急速冷却用の冷却ファンを内蔵しています。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE-ZVANS拡散炉とアクセサリ機は、堅牢で信頼性の高い性能を実現するよう設計されています。チャンバーサイズが大きく、温度・圧力条件が調節可能で、温度が均一なため、高度な半導体デバイスの拡散に最適です。