中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590992 を販売中

TEL Alpha 8 SE-ZANRSは高温半導体加工のために設計された拡散炉およびアクセサリーです。Alpha 8 SE-ZANRSは、炉室、熱周期制御ユニット、および発熱体で構成されています。2000°Cまでの温度が可能で、アルミニウム、銅、タングステン、シリコンなど幅広い材料に適しています。Alpha 8 SE-ZANRSは、迅速な避難システム、3次元スキャン真空制御システム、ホットウォールトレーラーなど、さまざまな真空制御システムを備えています。これらの機能により、Alpha 8 SE-ZANRSはIC、 LEDなどの半導体デバイスの製造に最適なデバイスとなります。8インチ×8インチまでの基板サイズの加工が可能です。効率的な運転のために、Alpha 8 SE-ZANRSにはガス配送システムが装備されており、ガス組成と流量を正確に制御できます。このデバイスには、それぞれ独自のフロー制御ポートを備えた3つの独立したガスコンセントが含まれています。ガスは発熱体から基板に送られ、ヒートサイクルを制御します。Exter（エクスター）