中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590975 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON半導体、光電子、太陽光発電産業のハイエンド用途において、インシトゥおよびエックス・シトゥの両方のプロセスを実装するための費用対効果の高い、信頼性の高い8SE-ZANRS拡散炉および付属品を提供します。TEL Alpha 8SE-ZANRSは、1000°Cまでの温度で動作する汎用高温拡散炉で、酸化、窒化、還元、ジュール加熱、焼結プロセスに最適です。炉は、チャンバーの内面全体に均一な熱強度と分布を提供する修正石英反射器を備えた広々とした、低圧、高真空チャンバーに囲まれています。チャンバー全体も、材料バリや汚染を最小限に抑えるために、非常に短いアニーリングサイクル時間で設計されています。さらに、堅牢な温度制御システムとマルチゾーン加熱により、東京エレクトロンアルファ8SE-ZANRSは安定した温度を維持することができます。Alpha 8SE-ZANRSの外のエンクロージャは頑丈なステンレス鋼から組み立てられ、外的な源からの汚染を防ぐために造られます。この炉は、コントローラと発熱体、ランプからの偶発的な損傷から保護するための特別なランプシールド、酸化、窒化、還元のレベルを決定するためのウェハチェッカー、必要な反応ガスを作成するためのガスミキサーなど、その標準的な機能を補完するために多くの追加のアクセサリーを利用しています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRSの技術的特徴は、最大積載量9kgのロードロック、チャンバー深さ15cmの石英ボート、流量0。02ml/min〜10ml/minのガス室などです。また、0〜100％の調節可能な範囲と最大8ゾーンのマルチゾーン加熱システムを備えており、高速加熱のために高周波電源（300〜400kHz）がランプハウジングに組み込まれています。結論として、TEL Alpha 8SE-ZANRS拡散炉および関連アクセサリは、ハイエンド半導体、オプトエレクトロニクス、および太陽光発電アプリケーションに信頼性の高い費用対効果の高いソリューションを提供します。堅牢な構造、複数の安全機能、温度調節可能な範囲、および効率的なアニーリングサイクル時間により、この高温炉は長寿命の高品質の製品を生産するのに理想的です。