中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9186048 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zは、半導体ウェーハの加工・加工に特化した拡散炉・アクセサリ機器です。8インチ（200mm）ウェーハを最初から最後まで加工できるベンチトップのスタンドアロンシステムです。このユニットは、優れた大量輸送、均一なプロセス温度、および高速ウェーハのターンアラウンドタイムを提供するように設計されています。TEL ALPHA 8SEZには、オールアルミニウム、低熱質量、低熱伝導率の炉チャンバーが装備されています。この部屋は最高の反復性および堅い温度調整を提供します。高精度のデジタルフローコントローラを備えたデュアルゾーンガス制御機を統合し、高純度のガスを炉の運転に供給します。このツールには、事前加熱とVAC加熱のための調整可能なノズルを備えたクォーツコールドウォールも備えています。ノズルは、異なるウェーハサイズに対応し、正確な温度制御を実現するために調整可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Zは、8インチ（200mm）ウェーハを最大限の再現性と制御性で処理するように設計されています。この資産は、焼結、アニール、急速な熱処理、酸化物形成、および他のプロセスが可能です。トップローディングとアンローディングモデルは自動化され、オペレータの介入を最小限に抑えて高速なウェーハ処理を実現します。プロセスチャンバーはコントローラから分離され、プロセススタックには周囲の汚染物質の侵入を防ぐためのダブルシールが装備されています。TEL Alpha 8SE-Zは、主要機器を接続する複数のアクセサリとサードパーティ製コンポーネントの統合をサポートしています。TEL in situ process monitoring by spectroscopy （PMX）に対応しています。また、TIM （Thermal Imaging Module）と互換性があり、サンプル温度およびプロセスゾーンの可視化にも対応しています。蒸着プロセスを自動化するようにシステムを構成することができます。また、CVDおよびPVDシステムと互換性があり、ドーパント添加、ドーパントの酸化、表面の酸化などの追加のプロセス手順を可能にします。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zには、タッチスクリーンインターフェースでプログラミングできるプロセスパラメータが豊富に用意されています。プロセスパラメータは完全に編集可能であり、ユニットはいくつかの統計的プロセス制御システムと互換性があります。このマシンは、優れたグラフィックスと直感的な機能を備えたユーザーフレンドリーでモダンなインターフェースを組み込んだソフトウェアで動作します。データセキュリティとトレーサビリティのために、ツールバックアップとロギングも組み込まれています。TEL ALPHA 8 SE Zは、半導体ウェーハ加工および製造のための高度な機能とアクセサリを備えた信頼性が高く、効率的で現代的な拡散炉です。高い再現性、均一なプロセス温度、および高速ウェーハのターンアラウンドを競争力のある価格で提供するように設計されています。