中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820846 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zは、高度な窒化物蒸着能力と正確なウエハプロセス制御を提供する拡散炉およびアクセサリです。TEL ALPHA 8SEZは、高効率設計と強力なプロセス機能により、III-V複合材料を用いた超薄型の先端半導体デバイスに最適です。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Zは、ユニークでパワフルな横型マルチチャンバー設計を採用しています。これにより、最大1200°Cの高温に加え、3ゾーン加熱ルチブルおよびホットゾーン設計による高いプロセス精度と再現性が可能になり、シリコンおよび化合物半導体デバイスの製造効率が向上します。この高効率プロセスは、動的温度制御機能によりさらに強化され、温度と蒸着速度のより均一なプロファイルを提供します。TEL Alpha 8SE-Zは、二重予熱およびローディングオプションも備えており、炉の効率的な運用と信頼性を確保します。炉の急速な予熱モードを利用することで、プロセス時間を短縮し、ウェハカセットの熱応力を最小限に抑えることができます。このシステムには、粒子測定やガス分析などのさまざまな品質監視機能、および窒素組成検出器とエンドポイント監視システムが搭載されています。これにより、ユーザーはプロセスパラメータを監視し、窒化物アプリケーションをより良く制御するための迅速なフィードバックを得ることができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Zは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスをオプションで提供しており、プロセスパラメータの管理、データログの閲覧、ユニットの状態の監視も簡単に行えます。このコントローラを使用すると、炉システムのネットワーク接続も可能になり、ユーザーはデバイスにリモートでアクセスして管理し、プロセスを簡単に監視およびトラブルシューティングできます。全体として、ALPHA-8SE-Zは効率的で強力な拡散炉であり、正確なウエハプロセス制御と最適な窒化物蒸着を提供します。高度な機能、品質監視システム、便利なネットワーク接続を備えたこのマシンは、より高い精度と再現性で信頼性の高い高純度の窒化物の堆積を提供するのに役立ちます。