中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zは、優れた加工性能を提供するために特別に設計された拡散炉です。シリコン太陽電池、基板、その他の半導体製造プロセスのための最高の熱酸化を生成することができます。この高品質で費用対効果の高い拡散炉には、さまざまな研究および産業用途に適したいくつかの重要な機能が付属しています。TEL ALPHA 8SEZは、最高動作温度が1150°C、最大加熱速度が4°C/秒に達する優れた熱特性を備え、高速で高品質な熱処理を可能にします。炉は2つの異なったモード、バッチおよび連続的で作動できます、異なった適用の間の柔軟性を可能にします。バッチモードでは、チャンバー全体の温度勾配を最小限に抑えながら、より均一な温度を得ることができます。高度な設計には、高いソースと均一な温度分布を提供することができる6層モリブデンシリサイドヒーター、およびチャンバー全体にわたって高い熱均一性が含まれています。この炉には、石英チューブヒーターと、優れた耐食性と高性能のための熱絶縁、二重壁、304ステンレス鋼室が付属しています。この独特な設計はまた優秀な熱伝達の性能を保障している間汚染の低レベルを可能にします。リアルタイムオートメーションシステムにより、プロセスの開始から終了までを監視することができます。精密な制御を実現するために、デジタルPID制御ループを備えた東京エレクトロンALPHA-8SE-Zは、温度を継続的に監視し、± 1°の精度範囲で制御を維持します。さらに、保護コーティングはプロセス中の酸化を防ぎ、優れた品質の結果を得ることができます。東京エレクトロンアルファ8SEZには、観察窓モニター、大型個別圧力制御、回転試料シャトル、各種試料ホルダーなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これらの付属品のすべては炉を特別な研究および産業適用のためによりユーザーフレンドリーおよび有効にさせます。この拡散炉は、その高度な設計、柔軟性、正確な温度制御、および複数の追加アクセサリのおかげで際立っています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zは、シリコン太陽電池や基板などの半導体製造プロセスに最適なソリューションです。