中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293736532 を販売中
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ID: 293736532
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Furnace, 8"
Process: SOD
Type: LP-CVD
Air valve: FUJIKIN, CKD
STEC
Gas box
Gases: N2, P-N2, O2, H2
Waves controller
Gas flow chart panel
Floppy Disk Drive (FDD)
Heater chamber
I/O Port
Cassette transfer
Wafer transfer
Temperature controller
Signal tower
Utility box:
Power controller
Machine controller
Pressure controller
Water Vapor Generator (WVG)
Gas flow chart panel
Power box:
EMO Unit
Control board
Transformer
SCR Controller
N2 Purge unit
RCU Unit
Operating system: Linux
Power supply: 208-120 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE-Z拡散炉は、高度なプロセス制御と精度を提供するために設計された先進的な製造装置です。8SE-Z拡散炉は、生産中に監視および制御することができる非常に詳細なプロセスと高収率で印象的な製品の配列を生成することができます。小型機器や部品の大規模生産に最適なソリューションです。8SE-Zは、温度および加工条件の高精度な拡散を提供する急速な熱複回路プロセスチャンバーシステムです。このチャンバーは、ウェーハの異なるセクションに2つの精密独立した温度制御システムを備えており、製品の歩留まりを向上させます。また、低消費電力の自動サイクリングとプロセスタイミングも備えています。8SE-Z拡散炉は、高性能スパッタ/エッチング源と高温炉モジュールによって駆動されます。ソースは、適切な処理仕様に合わせて構成することができ、拡散プロセスの極端な精度を可能にします。また、さまざまなプロセスプリセットを備えているため、手動設定を必要とせずにパラメーターを素早く調整できます。統合された高温炉モジュールは容易に調節することができる温度および圧力レベルの広い範囲を提供します。8SE-Z拡散炉は、最適な生産率と歩留まりを提供するように設計されており、中規模から大規模生産に最適です。その高性能設計、高度な温度制御システム、堅牢な構造は、すべて、8SE-Zが一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供することを確実にするのに役立ちます。また、8SE-Zは高効率で費用対効果が高いように設計されており、最小限の廃棄で高精度な結果を保証する高度なプロセス制御システムを備えています。これにより、一貫した信頼性の高い精度に頼る業界にとって理想的な選択肢となります。また、8SE-Z拡散炉は、ほとんどの拡散アクセサリーと互換性があり、幅広いオプションを使用することで、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすカスタマイズされた生産システムを作成できます。TEL ALPHA 8SEZは、現代の生産ラインやラボに欠かせないツールです。精度、堅牢な設計とエネルギー効率により、業界は優れた歩留まりと低レベルの生産損失で前例のない製品を達成することができます。小型および中型の部品を大規模で効率的なスケールで製造するための理想的な選択肢です。
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