中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #115121 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Zは、主にソリッドステートデバイスの作成と操作に使用される拡散炉です。この特別に設計された炉は、半導体などの材料を高温および圧力で加工および制御するために使用されます。TEL ALPHA 8SEZは2000°Cまでの温度範囲と10 torrまでの圧力範囲を持っています。この拡散炉の設計には、ステンレス鋼、モリブデン、炭化ケイ素からなるサンプル/ウェハチャックがあり、すべて熱安定性で知られており、正確な温度制御が可能です。このモデル拡散炉はまた精密で炉の温度を減らすことができる特別な冷却装置のような専門の付属品を、含んでいます。炉自体は様々な手順に迅速かつ正確に適応することができ、熱処理のパラメータを正確にプロファイルすることができます。温度は常に監視され、PID温度コントローラで維持されます。ランプと浸漬を含む複数のセグメントで最大2つのプロセスの温度プロファイルをプログラムすることができ、再現性と正確な熱処理を可能にします。東京エレクトロンALPHA-8SE-Zには、サンプルやウエハーを迅速かつ便利に積み降ろすことができるアクティブカセットリフトシステムも搭載しています。また、半導体業界において正確かつ精密な熱処理を実現するために不可欠な基板表面温度を均一にすることも可能です。この炉は、ダイレクトドライブ、自己冷却モータを使用しており、サセプターに電源を中断せずに正確に制御することができます。Alpha 8SE-Zもそのデザインのために非常に安全です。自動化された安全ロックがドアにあり、ろ過システムはフッ素や塩素などの危険ガスが排出されないようにします。この炉にはインテリジェントプログラムモニターも搭載されており、運転中に発生する可能性のある問題を検出するためにユニット条件を積極的に監視します。さらに、各発電機は、独自のパネルから制御することができ、迅速かつ効率的な機械調整を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Zは、材料の加工・制御において高い精度と信頼性を提供する最先端の拡散炉です。温度範囲、圧力範囲、安全機能により、半導体業界の幅広い用途に最適なツールです。