中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293821901 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、高度な半導体デバイス製造に特化した精密ウェーハ加工技術機器です。このシステムには、いくつかの主要なプロセスコンポーネントが組み込まれており、ウェーハ製造のための包括的で自動化された処理ソリューションを作成します。このユニットの中心には、半導体デバイスの高精度加工能力を提供する拡散炉があります。さまざまな温度で使用可能、それは高い熱安定性、堅い総圧力制御および均一な源の粒子密度の部品の製作を可能にします。そのベーキング速度と時間は、特定のレシピに合わせて事前にプログラムすることができますが、その温度の均一性は± 7°Cで維持され、基板への熱勾配の影響を最小限に抑えます。また、ボトムウォールを一定温度に保ち、長期的な酸化影響を抑えるコールドウォール設計を採用しています。さらに、正確な熱プロファイルを確保し、プロセスガスを予熱損傷から保護するために、炉のよく設計された予熱。TEL Alpha 8SE-Eでは追加のプロセスコンポーネントを使用して、生産性を最大化し、自動化された高品質のプロセス結果を作成します。高性能な自動ローディングツールは、高速で信頼性の高い基板転送を保証します。一方、自動化されたプロセストラッキングアセット（ATPS）は、各基板プロセスレシピに関連するデータを監視します。このモデルには、最適な性能と再現性を達成するために必要な、垂直およびサイドウェーハシャトル、ベークプレートのアダプタ、石英ウェアホルダー、ガス発生装置、蒸着キットツールなど、幅広いアクセサリーが付属しています。また、ISO認証のクリーンroom/ISO-600認証を取得したシングルフロア構成の設計により、コスト効率の向上とメンテナンスや修理の容易化を実現しています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、高品質の半導体デバイスを製造するための効率的な自動拡散炉ベースのプロセスシステムをユーザーに提供します。堅牢なコンポーネント、自動制御ユニット、アクセサリは、信頼性の高いデバイス製造に必要な安定性と汎用性を提供します。