中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652593 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、アクセサリーを取り揃えた画期的な拡散炉です。この拡散炉は、迅速で迅速な熱加熱と処理が可能であり、効率的で効果的な堆積プロセスに不可欠です。TEL Alpha 8SE-Eは、ロータリーモーションを備えた汎用性の高いウェハヒーターと蒸着プラットフォームで、タイトで均一な処理温度を実現します。エネルギー効率に優れたモータと正確な温度制御により、より高速なスループットで高精度な結果を8SE-Eできます。アルファ8SE-Eはわずか数秒で500°Cまで温度に達し、プロセス全体を通して高い精度で温度を維持することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、エネルギー効率に優れたモーターを使用することで、ウォームアップとクールダウンを迅速に行うことができ、生産性とスループットを向上させます。TEL Alpha 8SE-Eは、精度と精度を維持しつつ、多種多様な成膜オプションを可能にするように設計されています。これは、回転運動と線形運動を組み合わせて処理温度内で均一性を作り出すことによって実現されます。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、完成品の品質を向上させるために、完全に自動化されたウェーハクリーニングステーションを備えた統合された機器です。さらに、このシステムには、高効率の後処理ソリューションであるB&H6000クリーニングユニットが含まれています。このマシンは、すべてのウェーハサイズと互換性があり、高い精度と効率でウェーハを修復し、研磨することができます。さらに、B&H6000は、ウェーハの裏面を完全に再構成するように設計されており、蒸着プロセスの初期段階で発生する可能性のある応力を除去します。すべての段階でプロセスを監視するために、Alpha 8SE-Eにはさまざまなセンサーと温度制御機能が装備されています。成膜プロセスでは、温度センサがツール全体に配置され、一般的な温度とウェーハ温度の変化の両方を検出します。これらの変化をモニタリングすることで、成膜時にウェーハ全体の均質な温度を確保することができます。さらに、効率的な温度プロファイルを作成するために、炉の周りにモニターが設置されています。これにより、ヒーターチャンバー内の温度が均一になり、完成したウェーハ表面の均一性が向上します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE-E拡散炉は、半導体産業において非常に貴重な資産であり、エネルギー効率の高いプラットフォームにおいて精度と均一性を提供します。ロータリーとリニアモーション、付属のアクセサリーを使用することで、ウェーハの取り扱いと加工に革命をもたらしました。