中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652592 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Eは、各種製造・研究プロセスにおいて信頼性の高い効率的な結晶蒸着を実現するハイエンド拡散炉です。この拡散炉は、シリコン（Si）やその他の半導体材料など、さまざまな材料に高品質の蒸着結果を提供するように設計されています。それは暖房、冷却および圧力調節のための2つの独立した部屋を特色にします。加熱チャンバーは最大1000°Cの温度範囲を持ち、圧力チャンバーは1から760 torrまで調整できます。そのデュアルチャンバー設計は、半導体成膜とエピタキシーのための高効率で信頼性の高い機器を提供します。TELアルファ8SE-E拡散炉には、1300°Cを超える低温動作と高温動作を可能にするクライオカンバーチャンバーが取り付けられています。また、電子ビームでの動作を可能にするGSP（ガス供給パネル）とEMG（電子ガン供給）システムを備えており、精密かつ最新の半導体処理を可能にしています。生産プロセスを最適化するために、炉にはPMC（プロセス監視コントローラ）が取り付けられており、ユーザーは稼働中にユニットを監視および制御することができます。TOKYO ELECTRONアルファ8SE-E拡散炉には、様々な特殊アクセサリーを取り揃えています。その中でも人気が高いのが、電子ビームエッチング用に調整可能で精密な電流制御を備えたEVTX（電子ビームチューナー）です。このチューナーは、マニュアル技術よりも速く、より正確で無駄なエッチングを可能にします。DVT-21（拡散真空チューナー）-20は、炉の内部の圧力を監視し、最適な処理のために必要な真空レベルを維持します。IF6-21（理性的な炉機械）20はさまざまな調理法変数を使用して沈着率の自動最適化を提供するように設計されています。他のアクセサリーには、オートサンプラーと真空ポートを備えたDAT-21（拡散分析ツール）があり、炉内の温度と圧力を正確に分析できます。Alpha 8SE-EはGeoLabソフトウェアとも互換性があり、ユーザーはパラメータを簡単に制御および監視できます。さらに、この拡散炉にはグラファイト発熱体と石英ピロメーターが装備されており、正確な温度ターゲティングが可能です。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE-E拡散炉は、結晶蒸着などの材料加工を必要とする産業や研究用途に最適です。そのハイエンドのコンポーネントと豊富なアクセサリは、このデバイスを厳密な制御を必要とする精密プロセスに適しています。デュアルチャンバー設計と特定のアクセサリにより、他の方法よりも高い精度と高速な結果を得ることができます。