中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293600349 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-Eは、半導体製造に特化した拡散炉とアクセサリーです。高度な温度制御と正確な電力入力が可能で、最適なウエハ加工が可能です。重厚なステンレスフレーム構造で、厚壁二重断熱材を採用し、室内温度を均一に保ちます。また、均一で効率的な加熱プロファイルを確保するために、最適化された触媒バーナー制御モジュールが装備されています。このシステムには、複数のパラメータを正確に制御するためのプログラマブルロジックコントローラ（PLC）や自動フォルトリカバリ機能など、さまざまな最先端のコンポーネントが含まれています。非常に構成可能な加熱チャンバーを使用すると、幅広い半導体アプリケーション向けにセットアップをカスタマイズできます。この炉には、チャンバー内の過剰温度を検出し、それに応じてユニットをシャットダウンする緊急センサーなどの高度な安全機能も含まれています。TEL Cabinet for Alpha 8SE-Eは、高いスループットと効率的な操作を可能にする垂直設計を採用しています。また、簡単なメンテナンスとクリーニングのための取り外し可能なボトムが装備されています。統合されたLDF （Low Diffusion Flux）技術は、拡散プロセスを完全に制御し、最適な基板表面の均一性と清浄性を保証します。さらに、このマシンは、最新のウェーハ製造プロセス、およびESD （Electro Static Discharge）保護ガイドラインに準拠するように設計されています。また、Alpha 8SE-Eは大きなワークスペースを備えており、1つの中央から複数のツールを接続して簡単に操作できます。さらに、このツールには外部システムとのインタフェース用の複数のインタフェースが含まれているため、生産プロセスの柔軟性が向上します。この炉には、手動または自動運転用のオプションのソフトウェアパッケージもあります。最後に、ユーザーは、酸化損傷から製品を保護するために統合窒素パージキットの恩恵を受けます。TOKYO ELECTRON CABINET for Alpha 8SE-Eは、半導体製造設備の効率性、安全性、柔軟性を最大限に高めるために設計された高度な拡散炉です。それは精密な熱規制、自動化された欠陥の回復、および現代の安全基準の承諾を保障するために最先端の技術と装備されています。Alpha 8SE-Eは、幅広い構成可能なオプションを備えており、あらゆる高性能な半導体生産環境に最適なソリューションを提供します。