中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SD拡散炉は、半導体産業における直列生産において、信頼性と性能に優れた拡散炉です。それは熱処理のための強力で、有効な解決を顧客に与えます。この拡散炉は、前任者と比較して、より高いスループットとスループットの整合性をユーザーに提供します。また、マニュアル調整やダウンタイムを必要とせずに、200mmから6インチまでの複数のウエハサイズに対応できるように特別に設計されています。TELアルファ8SD拡散炉は、1000°Cまでの拡散と酸化の両方に高度な熱処理技術を使用しています。超小型設計でスペースを最小限に抑えることができます。これにより、高密度生産ラインに最適です。複数のウェハサイズの処理オプションにより、必要に応じてスループットを簡単にスケールアップできます。東京電子ALPHA 8S-D拡散炉は、単一の流量動源を含む強力な独立した分散システムを備えています。これにより、一貫したプロセスパラメータを維持しながら、高温および高出力アプリケーションを容易に処理できます。高性能なリアワードフェーシングシステムは、均一性を確保し、プロセス全体にわたって正確な熱制御を実現します。これにより、処理時間が短縮され、より良い結果が得られます。炉には、高度な発熱体と冷却オプションの包括的な範囲が付属しています。直接加熱されたウェハサポートと超低熱循環により、急速なサーマルランプレートを実現します。高度な冷却オプションにより、ウェーハからウェーハの汚染を防ぎます。さらに、高度な制御機能により、プロセスの再現性と高精度を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D拡散炉には、50ステッププログラマブルメモリが搭載されています。これは、プロセス開発と制御のためのWindowsベースのPCプロフェッショナルスイートソフトウェアが付属しています。ユーザーフレンドリーな環境により、簡単なレシピ入力と再現可能なプロセスが可能です。ユーザーは、ドキュメントやトレーサビリティのプロセスレポートを生成することもできます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON （TEL）のAlpha 8SD拡散炉は、半導体産業におけるシリーズ生産のための非常に信頼性の高い性能駆動拡散炉です。それは熱処理のための強力で、有効な解決を顧客に与えます。この拡散炉は、より高いスループットとスループットの整合性をユーザーに提供します。高度な発熱体と冷却オプション、プログラマブルメモリ、WindowsベースのPCプロフェッショナルスイートソフトウェアなどの包括的な機能を備えたこの拡散炉は、高密度の生産ラインに最適です。