中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293741420 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SDは、アクセサリーを備えた最先端の拡散炉です。これは、主にアニールと拡散を提供する、さまざまなプロセスのために半導体業界で使用されている炉の一種です。8SDに1250°Cまでの高温を提供する暖房プロセス環境の部屋および200°Cまでの急速な熱冷却を可能にする冷却プロセス環境の部屋があります。先進アクティブイオン注入ユニットと先進アクティブガスアニーリング装置を装備しています。8SDには、チャンバ内の温度を制御できるように、ホットゾーン温度監視およびアラームユニットを含む、内蔵の周波数応答監視（FRM）システムもあります。アクティブなガスアニーリングマシンは、高温プロファイルを維持し、チャンバー全体の正確な均一性を提供することができ、スループットが向上します。8SDには、大型の垂直ヒーター、高均一絶縁、高温耐性アルミナ部品も装備しており、生産性を最大限に高め、高品質なアニーリング結果を得ることができます。また、8SDには多機能プロセスコントローラがあり、高精度で柔軟な温度およびプロセス条件の制御を提供します。8SDには、7つのイベントプログラマブルタイマー、タイプN熱電対、および操作ログもあります。全体として、TEL Alpha 8SDは、アクセサリー付きのユニークで費用対効果の高い拡散炉です。正確な温度制御、チャンバー全体の均一性、高温耐性、アニーリング歩留まりを最大限に引き出す能力を備えたこの8SDは、半導体産業にとって非常に貴重な付加価値があります。