中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SCは、大規模な半導体製造プロセスで使用するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、ウェーハ温度、電源レベル、および独自の動作パラメータを正確に制御できます。高性能集積回路の製造のための高度なツールとして、多層拡散、アニールおよび酸化、選択的エミッタ、CMP、低温アニール、およびCu再分配レイヤーを含む幅広いプロセスを実行できます。TEL ALPHA 8 SCは、カスタマイズ可能な動作環境を備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このシステムには、水素漏れの際にタービンと炉を自動的に遮断する二重壁外室など、いくつかの安全機能も含まれています。また、自己診断装置を備えており、予防保全作業を可能にし、時間のかかる高価な修理を防ぐのに役立ちます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Cは、繊細なウエハの効率的な加工とその領域の最適な利用を可能にするユニークなデュアルゾーン加熱機を備えています。ゾーン制御は、スプリットゾーン操作と呼ばれる強力なプログラミングアルゴリズムによって管理されます。この技術により、ウェハ温度が特定のプロセスに最適なレベルに保たれ、消費電力が最小限に抑えられます。ALPHA 8S-Cは、シャワーヘッド、昇降メカニズム、ゾーン制御システム、トランジションホルダー、ロードロック、ローラーカップリフター、ロボット、エンドエフェクター、センサー、ポンプなど、幅広いアクセサリーを提供しています。さらに、このツールは、シリコン、ヒ素ガリウム、銅、チタン、石英などの幅広い基板と互換性があります。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SCの性能は、Total Exhaust Management、 Exhaust Profile Control、 Shared Zone Controlなどの高度なエンジンによって保証されています。これらの機能は、ウェーハ製造プロセスにおいて比類のないトリム制御と温度安定性を提供します。TEL Alpha 8SCは、高信頼性、優れた性能、精密な制御を提供し、大量の半導体加工に最適です。その高度な機能、アクセサリ、ユーザーフレンドリーなインターフェースは、半導体製造に不可欠なツールです。