中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9313419 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SCは、多種多様な加熱、アニール、蒸着プロセスを行うように設計された先進モデル拡散炉です。最先端のデザインが特徴で、ほぼすべてのタイプのプロセスに使用できます。炉を構成する各種部品は、内側の鐘型石英管、ヒーター、外側シリンダーで構成されており、高精度な温度制御と均一な加熱が可能です。この炉には、2段の石英排気装置と、排気効率を最大限に高めるための大きな長方形の排気ポートが装備されています。温度監視用の二重熱電対、石英管の圧力を測定する圧力モニター、温度や圧力などの炉状態をリアルタイムで監視するためのリモートセンサーなど、さまざまな高度なセンシングシステムが炉に組み込まれています。TEL ALPHA 8 SCには、幅広いプロセスを可能にする様々なアクセサリーが装備されています。これらには、ホットウォールおよびコールドウォールプロセスを可能にするモーター式ウェハおよび蓋ポジショナ、さまざまなサンプルサイズに対応するためのサンプルホルダー、生産リング、シールドが含まれます。ロックラッチシステムにより、プロセス中にさまざまなサイズのウェーハを固定することができます。東京エレクトロンアルファ8S-Cは、ウェーハ上に薄膜層を精密に堆積させることができる集積成膜ユニットを備えています。東京エレクトロンアルファ8 SCには、窒素パージ機やステンレス製の反応チャンバーなど、外部の空気や汚染物質からの汚染を防ぐ高度な安全機能も備えています。炉の蓋は二重密封されており、発煙や粒子の漏れが作業スペースに入らないようにしています。さらに、チューブ半径が25cm未満のオープンエンドの石英チューブを使用することで、大気圧に近い大気を維持することができます。自動ドアも付属しており、冷却前の炉の開閉を防ぎ、さらなる安全性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SCは、最先端の設計と高度な機能を組み合わせ、最高の温度制御、均一な加熱、汚染防止を実現する先進的な拡散炉です。幅広いアクセサリーにより様々な工程が可能で、集積成膜ツールにより精密な薄膜成膜が可能です。高度な安全機能により、炉の運転は常に安全な方法で行われます。