中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9206232 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SCは、半導体製造に特化した拡散炉とアクセサリーです。7チャンバー装置には2つのカセットローダーが装備されており、1時間あたり最大5,000ウェーハを処理できます。また、高度なバックツーバックヒーティングシステムを備えており、より迅速かつ一貫した暖房が可能です。TEL ALPHA 8 SCは、TEL High Speed Annealing （HSA）と呼ばれる特許取得済みのアニーリングユニットを使用して、最高品質の熱予算と最小限の熱損失を達成します。HSAは内部のふた機械を使用してガスを迅速かつ正確に導入し、除去します。また、過度の加熱や冷却を防ぐために「浮遊圧力と温度ツール」を使用しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Cは使いやすさを念頭に設計されています。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、チャンバーの機能を簡単に制御できます。さらに、直感的なソフトウェアは、すべてのチャンバの機能の操作の容易さを保証します。ALPHA 8 SCには、最高の熱予算を確保するための強力で正確な温度測定と制御を提供するPyro-Direct Thermal Processing （PDTP）ハードウェアが含まれています。さらに、革新的な蒸着アセットは、プロセス全体にわたって均一なフィルムを提供し、製品品質を最大限に高めるように設計されています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SCは、基板をリアルタイムで測定し、プロセス速度と歩留まりを向上させる統合プロセスアナライザを搭載しています。さらに、外部のTEL/TOKYO ELECTRON Global Real-Time Analyzer （GRTA）を使用することで、温度などのプロセスパラメータを測定・調整し、パフォーマンスを最適化することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SCにはTEL Smart Modelも搭載されており、プロセス中のウェーハ温度、圧力、プロセスガスレベルを監視するための高度なフォルト検出および補正機能を備えています。また、プロセスパフォーマンスを最適化するための予測モデリングやオンラインチューニングなどの高度な制御技術もサポートしています。TEL ALPHA 8S-Cはプロセスの汎用性を考慮して設計されています。幅広い互換性により、幅広い基板やプロセスフローに対応できます。また、1つのプロセスから別のプロセスへの移行をよりスムーズかつ高速にするためのシンプルな冷却装置で設計されています。全体的に、Alpha 8SCは、優れた性能、簡単な操作、および半導体生産のためのプロセス汎用性を提供する高度で信頼性の高い、エネルギー効率の高い拡散炉とアクセサリーセットです。