中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SCは、半導体製造業で使用される二重シェル拡散炉とアクセサリーです。ウェーハに異なる材料を堆積させるための最適な環境を提供するように設計されています。この拡散炉は、高温酸化から低温ホウ素の注入まで、ユーザーに幅広い機能を提供します。TEL ALPHA 8 SCは、優れた均一性と熱伝導性を提供し、より効率的な処理を提供する大型の石英サセプタチャンバーを備えています。その高出力リニア電子-サイクロトロン周波数加熱システムは、最大1500°Cの温度に達することができます。このユニットには2つの低放射ピロメータが装備されており、動作中のサセプタレベルの温度をリアルタイムで監視できます。また、TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Cでは、最大64プロセスの自動バッチシステムを提供し、プロセス制御とデータ収集を実現しています。静電気チャックは、この機械でも入手可能であり、プロセス中にウェーハを確実に保持し、ミラーを調整して着信プラズマを指示します。この8SCには高速で高出力のガス交換技術が組み込まれており、グリッド状のアニールプロファイルとプロセスの安定性をより高速な生産速度で提供します。効率的なパフォーマンスを促進するために、高度なファン分離システムは、劣化したガスや粒子を作業エリアから遠ざけます。過圧システムは、動作中の表面汚染からウェーハを保護します。TEL Alpha 8SCは、高度に自動化された高性能な操作を提供するように設計されています。SafetyPlusソフトウェアを使用すると、より迅速でスムーズな起動と、より信頼性の高い運用のための簡単で迅速なデバッグとアップグレードのプロセスを可能にします。この8SCには、リモートでプロセスを監視および制御したいユーザー向けのオプションのリモートコントロールアプリケーションであるHyperDriveも付属しています。要約すると、Alpha 8SCは洗練された拡散炉とアクセサリソリューションであり、ウェーハ加工に優れた適合性と高効率と高精度を提供するように設計されています。最新の半導体製造の最先端ソリューションであり、多くの製造設備に付加価値があることは間違いありません。