中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9383405 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S （TEL ALPHA-8S）は、高度なクリティカルレベル半導体デバイス製造用に設計された拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は、一度に複数のウエハを処理する能力を持ち、生産のスループットを高めることができます。東京エレクトロンALPHA 8 Sは、ベース圧が5x10-7 Torrの低圧で、180〜1400ᵒ°Cまでの温度で優れたプロセス制御が可能です。プロセス時間は5〜90°Cと短く、ウェハ温度の均一性が高く、精度は+/-1µm/secです。この拡散炉の強い特徴及び利点は空気軸受け、磁力、高精度および改善された処理の組合せの非常に有効なエネルギー移動の特徴です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、超高ニッケル抵抗加熱システムを提供し、温度制御の面でより信頼性と効率的になります。このシステムの耐熱性は従来の耐熱性よりもはるかに低いため、ウェハの実際の温度は比較的高くなります。これにより、スループットが向上し、処理時間が短縮され、均一性コントロールが向上します。また、酸素フローモニターによる自動環境制御により基板の酸化を防止するなど、多くの自動および手動の安全およびメンテナンス機能を備えています。このプロセスステーションでは、電子損傷を最小限に抑えるためのESD保護と、最適なガス流量と最大洗浄のための最適化されたパージおよびベント制御を実装しています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、真空漏れ、過圧、過剰なウェーハ負荷による潜在的な損傷から保護する最適な保護メカニズムです。全体として、TEL ALPHA 8 S拡散炉は、クリティカルレベルの半導体デバイスの生産において、より高い生産性を達成するための優れた選択肢です。低基圧、正確な温度制御、最適化された安全性とメンテナンス機能を備えた東京エレクトロンアルファ8Sは、最適な歩留まりのための優れた性能を提供します。