中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282768 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、付属品を備えた先進的な拡散炉です。シリコンウェーハの洗浄、酸化、ホウ素の埋め込み、窒化物の沈着、急速な熱処理（RTP）、急速な熱アニーリング（RTA）およびレーザーのアニーリングのようなより多くのローカライズされた操作のような多様な適用に、適するように設計されています。TEL ALPHA-8Sは、高品質の部品と合金、反応、アニール、蒸着プロセスの先端技術を備えています。それは650°C/sまでの急速な暖房率および1350°Cの最高温度を高温合金および反作用プロセスを可能にするために持っています。RTP 3D、マルチステージプロセス制御、製造内のサーマルサイクル測定などの高度な技術により、精度、再現性、正確なプロセス温度制御が可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高度な機能により、高い信頼性とサイクルタイムの短縮を実現します。拡散炉は2°C内の温度の均等性を実現するために多孔質のセラミック加熱機構±組み込みます；均一でない温度分布を低減することにより、拡散炉は同等の信頼性で複数の同時プロセスに対応できます。すべての付属品は同じ信頼できる暖房のメカニズムを利用し、プロセス窓の統合された眺めはリアルタイムのプロセス完了の明確な査定を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sには、蒸着用のイオン源が搭載されており、オプションのRTP 3Dにより、超精密なローカライズ熱処理が可能です。拡散炉上のマルチゾーン制御ユニットにより、サイクルの同時実行が可能となり、サイクルタイムがさらに8％短縮されます。拡散炉の内蔵診断機能により、操作に関連する障害が容易に識別され、迅速に整流され、拡散炉の稼働時間が向上します。ALPHA-8Sは信頼でき、有効で、精密な拡散の炉を捜す専門家のための完全な選択です。急速な加熱速度、均一な温度分布、RTP 3D、マルチゾーン制御、内蔵診断などの高度な機能により、高い生産性が保証されます。今日のALPHA 8 Sに投資することで、パフォーマンスの向上と収益性の向上の両方の恩恵を受けることができます。
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