中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282766 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、最適な拡散プロセスに必要なすべての機能を備えた最先端の半導体製造ユニットです。拡散プロセスを使用して、ホウ素やリンなどの半導体材料を変更し、幅広い電気部品に使用することができます。TEL ALPHA-8S拡散炉には、高真空拡散室、高精度基板サポートステージ、石英遮蔽ホットウォール、高効率ガス噴射装置、高温放射加熱装置、均一制御装置など、さまざまな機能を備えています。拡散チャンバは、拡散プロセス中に最大限の安全性を確保しながら、最適な熱均一性と効率を提供するように設計されています。チャンバーの内部は石英フロートガラスで保護されており、加熱も保証され、温度変化に対する安全性が向上します。ガスインジェクション装置を一体化し、正確なガス拡散を可能にし、拡散プロセスを正確にチューニングすることができます。基板サポートステージは、基板をロードできる安定した高真空プラットフォームを提供します。これにより、長い拡散動作中でも安定した再現性のあるウェーハ位置決めが保証されます。クォーツシールドされたホットウォールは、制御された低温環境を提供し、ウェーハを一定の温度に保つのに役立ちます。それは信頼でき、有効、また基質の温度がサブシステムの温度より決して高くないことを保障します。東京電子ALPHA 8 S拡散炉は、高温放射加熱ツールの利点もあります。この資産は、基板の均一な加熱を提供するために、多くの反射板を使用しています。このモデルはまた、基板間の相互汚染のリスクを低減するのに役立ちます。最後に、ALPHA 8 S拡散炉には均一性制御装置も装備されており、すべての基板が同じ処理を受けることを確実にするのに役立ち、より良い、一貫した結果をもたらします。全体的に、TEL Alpha 8S拡散炉は、半導体の製造に使用するための信頼性が高く、効率的なツールです。洗練されたデザイン、ハイエンドな機能、均一な制御システムにより、異物混入や不均一な加熱のリスクを最小限に抑え、正確かつ正確な結果を提供します。
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