中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282234 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、研究者が高精度の拡散プロセスに費用対効果の高いソリューションを提供するために設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。SOI （Silicon-on-Insulates）基板の超微細制御プロセスに適しており、長年にわたり多くの研究室で信頼できるツールとなっています。TEL ALPHA-8Sは、プロセスの安定性を向上させ、温度制御の不確実性を低減する自動スライド断熱ガスシリンダを備えています。窒素アルゴンガスシステムは、さまざまな炉で最大2つのガス圧力を発生させることができます。これは、繊細な基板を使用する際に必要な大気の安定性が向上したために有益です。それは16の手動で調節可能なヒーターが装備されています（KS-16モデルだけ）処理部屋の全領域および他の高度の特徴の上の精密な温度調整を提供します。ユーザーに最大限の柔軟性を提供するために、TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sシステムは2つの独自プログラムで完全にプログラム可能です。これらのプログラムは、温度、ランプ速度、化学元素濃度、大気などのさまざまなパラメータに基づいて、非常に詳細で正確なプロセスをセットアップすることができます。さらに、炉のオープンエンドのデザインは、カスタムバスを作成し、錫と金の時間を素早く反射することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、高度な診断とプロセスパラメータの継続的な監視も提供します。これにより、故障の検出と保護、強力な統計データ収集、および機器の故障が発生した場合の自動温度ゾーニングが保証されます。これらの特徴は、正確な拡散およびCVD（化学蒸着）プロセスの制御と検証に特に役立ちます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、G-N2電気システムを使用して電気消費量を削減し、歩留まりを最大化する、エネルギー効率の高い設計です。ベルト式輸送システムは、基板汚染のリスクを低減するために、自己洗浄のための最適な環境を提供します。さらに、自動化されたフィルターおよびディスクシステムは、300 x 500mmから600 × 1200mmまでのチャンバーサイズを簡単に管理し、幅広い処理領域で効果的で信頼性の高い動作を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、洗練されたデザイン、人間工学に基づいたインターフェース、長寿命の安定性により、信頼性の高い正確な拡散プロセスのための費用対効果の高いソリューションを必要とする研究者に最適です。SOIウェーハなどの高品質な製品やその他の高度な材料を作成するのに最適なツールです。