中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、単結晶シリコンウエハから集積回路を作成するために使用されるコンピュータ制御拡散炉およびアクセサリーです。TEL ALPHA-8Sは、処理平面全体にわたって高いスループット処理と均一性を確保するように設計されており、手作業による介入を最小限に抑えた複雑な構造物の製造が可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、水晶スリーブ、セラミックスリーブ、金属ハウジングからなる垂直3部ローディングチューブが装備されています。垂直ロードコンフィギュレーションは、ロードされたウェーハ全体を炉の中央にある高温ゾーンに整列させるように設計されています。これにより、負荷領域全体にわたって均一な高温が保証され、ウェーハへの酸化および酸化損傷を防ぐのに役立つ熱風の垂直対流を制御します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには、予熱ゾーン（PHZ）、負荷ゾーン（LZ）、プロセスゾーン（PZ）の3つの加熱ゾーン（HZ）があります。PHZは100°C〜200°Cの範囲で、LZに入る前にウェーハを所望の温度に加熱するために使用されます。LZは、上部領域（TR）と下部領域（BR）の2つの領域に分かれています。これらの地域には、ガスの流れと温度を正確に制御できる独立したガスおよび温度制御システムが装備されています。LZは800°C〜1300°Cの温度に加熱され、全荷重プレーンにわたって+/-5°Cの温度均一性があります。PZは1500°C〜1800°Cの温度に達することができ、プロセス平面全体にわたって+/-5°Cの均一性を維持します。また、ガスコントロールコンソール、ウェーハリフター、石英ALPHA-8セラミックチューブアセンブリ、特殊るつぼ、ドアインターロックなどの総合的なアクセサリーを提供しています。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sはユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできます。オプションは、手動、PC経由、またはパネルディスプレイ経由で指示に提供されます。Alpha 8Sは、Windows 95/98/NT用のTEL Advantageソフトウェアの形で優れたプロセス制御を提供します。この強力なソフトウェアは、炉の操作を簡素化し、プロセスのセットアップを支援し、データロギング機能を提供することにより、プロセス制御を簡素化するように設計されています。ソフトウェアはまた、統計分析のためのデータ分析と事前に定義されたデータセットの収集を提供します。TEL ALPHA 8 Sは、ハイスループットと均一な集積回路の製造を可能にする、パフォーマンス、技術、利便性の優れた組み合わせです。最大30cmまでのシングルウエハ加工に適した信頼性の高い使いやすいシステムです。