中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257610 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉とその付属品は、半導体製造工場において、処理中のウェーハへのドーパントの拡散を可能にするため、熱及び電気プロファイルの生成に使用されます。TEL ALPHA-8Sは、温度制御されたオーブンに内蔵された水晶管外容器、ウェーハを均一に発射するための二重赤外線ランプヒーター、ウェーハの取り外しや積載が容易な垂直リフト機構を備えています。さらに、拡散炉にはさまざまなセンサと制御が含まれており、プロセスの温度パラメータを正確に制御できます。東京電子ALPHA 8 Sの内容器は、熱衝撃に耐え、処理中に拡散炉が到達する高温を処理するために高純度の石英で作られています。この石英材料は洗浄され、構造の汚染または故障の兆候のために定期的に検査されます。二重赤外線ランプは正確に整列され、ウェーハの均一な熱暖房で助けて、望まれる正確な位置および角度で熱放射を指示するために調節されます。サーマルパラメータの制御は、ALPHA-8 Sに組み込まれたさまざまな温度センサによってさらに支援されます。これらのセンサは、常にウェーハの正確な温度を追跡し、プロセスを厳密に制御することができます。垂直リフトメカニズムはまた、正確かつ効率的なウェハローディング/アンロードを可能にすることにより、プロセスの制御にさらに追加されます。TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusion Furnace付属品には、るつぼヒーター、石英チップ、MCスイッチボックスがあります。るつぼヒーターは、加工中にドーパントガスを含むために使用されるるつぼを加熱するように設計されています。クォーツチップは、熱伝達を支援し、壁を絶縁することにより、チャンバー全体で均一な温度を維持するために使用されます。MCスイッチボックスは、拡散に必要な熱および電気的プロセスを正確に制御するために使用されます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S拡散炉とその付属品は、ウェーハへのドーパント拡散のための信頼性と正確なシステムを提供します。耐温水晶部品とアテンダントセンサーは、二重赤外線ランプと垂直上昇機構の正確な配置と同様に、プロセスを厳密に制御することができます。システムに付属のアクセサリは、拡散プロセスの最適化を支援する制御と効率のさらなるレベルを提供します。