中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227417 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 9227417
ウェーハサイズ: 8"
VF LPCVD Poly system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、高度な集積回路製造プロセス向けに設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。この炉は、広範囲のデバイスパラメータを備えた直径8インチのウェーハ上で高品質のデバイスを製造することができます。TEL ALPHA-8Sは、高温で水晶チューブを使用して、これらのデバイスを製造するのに適した不活性な雰囲気を作り出します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、デバイスの生産性と品質レベルを最適化するいくつかの重要な機能が含まれています。オプションの高温遮断装置により、ウェーハ温度が安全な範囲内に保たれ、過熱の可能性を回避できます。さらに、自動ウェーハ積載システムにより、ウェーハを効率的に炉内に積み込むことができ、積載プロセス中に重要なデバイスパラメータを維持することができます。TEL ALPHA-8 Sは丈夫で耐久性のある素材で構成されており、長寿命のユニット性能を実現しています。堅牢な水晶チューブは、最大1500Cの広い温度範囲を可能にし、熱損失を大幅に低減します。さらに、堅牢なアルミ合金ヒーターコアは、拡散チャンバー全体にわたって均一な温度分布を保証します。これにより、正確なデバイスパラメータの基礎が得られ、効率的かつ正確なデバイス生産が可能になります。TEL Alpha 8Sは豊富なプロセスツールとモニタリングシステムを備えています。炉の制御機械は装置の製作プロセスおよび主要な装置変数の実時間監視と堅い統合を可能にします。これにより、主要デバイスの生産に最適化された環境が作成され、デバイスのパラメータが最適なレベルに維持されます。さらに、データロギングツールを使用すると、デバイスデータを時間をかけて追跡することができ、デバイスファブリケーションプロセスのパフォーマンスに関する貴重な洞察を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、長年の信頼性と安定した性能を提供するように設計されています。このデバイスは、プロセス機能の柔軟性を最大限に高め、複数のレベルの自動化を提供するように設計されています。これにより、最高レベルの製品品質を確保しつつ、高度なデバイスを効率的かつ費用対効果の高い生産が可能になります。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sを24時間365日体制でサポートし、常に最適なパフォーマンスを実現します。
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