中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8Sは、SOI（シリコン・オン・インシュレーター）技術とSOS（シリコン・オン・サファイア）技術を応用した拡散炉&アクセサリーです。プロセスエンジニアリング、制御システム、および最高の安全基準における最新の革新によって設計されており、半導体製造業界におけるウェーハ処理の優れた柔軟性を実現します。TEL ALPHA-8Sは、プラズマエッチング装置、酸化装置、排気装置、温度計測ディスプレイ、ロードポートを備えています。静電気チャック（ESC）は、ウェーハの温度を維持し、SOIおよびSOS技術に不可欠な温度に敏感な酸化物エッチング処理を制御するのに役立ちます。ESCのハードウェアは背面にあり、真空ビーズは背面にあります。1050°Cまでの高温処理が可能な高温炉を有しており、高度な排気装置に加熱室対圧工具を搭載しており、高い安全性を実現しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたコントローラと、遠隔地からのプロセスを監視できるリモートモニタリングアセットが搭載されています。このリモート監視モデルは、Webサーバーとブラウザインターフェイスを利用しており、オペレータは簡単にレシピを調整できます。また、温度および圧力測定、化学濃度、および排気流量を記録し、検査および分析を行います。オプションの霧化装置をTEL Alpha 8Sに組み込むことで、微細な浮遊粒子群を作成し、ウェーハ全体に均一な粒子分布を提供できます。このシステムは、シリコンや二酸化ケイ素などの膜材料の蒸着速度やパターンを変更するためにも使用できます。堅牢な機能セットに加えて、ALPHA 8 Sは業界最高の安全基準に準拠し、清潔で安全な作業環境を確保し、危険な化学物質や材料のリスクを低減します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、高度なプロセスエンジニアリングと監視機能を備え、現代の半導体産業におけるSOIおよびSOS処理に最適なツールです。