中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298 を販売中
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販売された
ID: 9216298
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体などのデバイス製造に最適な工業用拡散炉およびアクセサリーパッケージです。TEL ALPHA-8Sは、半導体製造において比類のない制御、精度、再現性を提供する画期的な技術である水晶カセットリニアトランスファーシステム（QCLT）プラットフォームに基づいています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高性能アニーリング、ドライブインなどの拡散プロセスを提供する先進的な8段プロセスチャンバーを備えています。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、各ステージでプログラム可能な温度制御により、素材を急速に加熱して冷却し、タイトなプロセスパラメータと均一なデバイス特性で完全に一貫した微細構造を形成することができます。また、調整可能な熱源と小型フットプリント機能を備えた東京エレクトロン・ALPHA-8Sは、プロセス構成における完全な柔軟性を備えています。パッケージには、放射線の均一性を最大限に高めるための統合された反射システムが含まれており、温度プロセスの高精度制御を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sには、安全で中断のない拡散プロセスを保証するために、いくつかのシールドおよび真空システムも含まれています。パッケージには、セプタムバルブとガス選択キャビネットが含まれており、プロセス中にさまざまなガスをすばやくスムーズに切り替えることができます。TEL Alpha 8Sは、チャンバーの完全性を監視し、ガス漏れをすばやく特定するための自動リークチェックシステムも備えています。安全性の観点から、TEL ALPHA 8 Sは、プロセスの危険性を検出するためのさまざまなセンサーとモニターを備えています。このパッケージには、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sを使用して、正確で安全で再現性のある拡散プロセスをさらに確実にするための高精度の温度測定用の赤外線および従来のパイロメーターが含まれています。優れた自動拡散機能を備えたTEL/TOKYYO ELECTRON ONE E E E COM E OM ALPHA-8Sは、お客様には、お客様に最適なパッケージを提供します。パッケージには、空気圧荷重システム、熱電対回路、センシングおよび制御システム、およびいくつかのオプションの追加センサー、モニターなどが含まれます。すべてにおいて、ALPHA-8 S拡散炉とアクセサリーパッケージは、正確で一貫した拡散プロセスに最適なソリューションです。信頼できる、安全、そして制御および付属品の完全な選択と、このパッケージはあなたの次の拡散プロセスが成功であることを保障します。
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