中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060551 を販売中
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販売された
ID: 9060551
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
Nitride Furnace, 8"
Interface cassette, 8"
100 wafer load size with 150 upgrade & end-effector available
Facilities entry at bottom
Wide body style
Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 1 - 20 slm N2
MFC 2 - 500 sccm N2
MFC 3 - 3 slm N2
MFC 4 - 100 sccm Ar
MFC 5 - 2 slm NH3
MFC 6 - 500 sccm SiH2Cl2
Edwards QDP80 /QMB1200 Pump stack
SOLA UPS
NBest battery back up
Heat traced exhaust line with system
MKS heated throttle valve model 653B-13162
Main controller is TS 4000Z
1000 C heater core
Lip seal: No
Inner T / C8
Linear aligner UP/DOWN axis slide motions
Single or 5 wafer loading
Variable pitch: No
Tube, external Nitride 07-00106
Tube, internal Nitride 07-00218
Injector #1 Nitride 12mm 07-00219
Injector #2 Nitride 45mm 07-0220
Injector #3 Nitride 500mm 07-00221
Cover, cap Nitride 07-0225
Pedestal, Nit / All / Ann 07-00227
Pedestal cover, Nit / Al / Ann 07-00227
Boat, Sic 07-00124-00
Process tube, 16"
Rapid cooling
3 Phase
Voltage: 208V
60 Hz
SMIF loader: No
N2 purged loadlock: No
WIP Carrier storage capacity: 8
End-effector: 1 or 5 Fixed Pitch
Boat rotation: Yes
Furnace:
Temperature controller: Model 120
(5) Zones
Heater type: VMM-40-004
Rapid cooling configuration: Yes
Tube seal configuration: O-ring
Temperature control methodology: PID
Thermocouple type: R
Process gas control system:
General
External torch: No
H2 Burn off: No
Bubbler system: No
Gas leak dectection: No
Moisture sensor: No
Process gases (LPCVD)
MFC1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 20 SLM
MFC2 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 500 SCCM
MFC3 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 3 SLM
MFC4 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: Ar
Flow rate: 100 SCCM
MFC5 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: NH3
Flow rate: 2 SLM
MFC6 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
MFM1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
Vacuum pump: EDWARDS
Blower capacity: QMB1200
Dry pump capacity: QDP80
Pressure controller: Varian-TEL LR300
Process manometer: 10 Torr MKS 625A
Pressure differential manometer: 1000 Torr MKS 625A
Pump manometer: 100 Torr MKS 625A
Inline coldtrap: yes
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体ウェハ、薄膜デバイス、MEMS、オプトエレクトロニクスなどの電子デバイスの精密加工を可能にする高性能拡散炉およびアクセサリです。TEL ALPHA-8Sにより、最も先進的な製造プロセスでも、驚異的な精度と高いスループットで実現できます。東京電子ALPHA 8 Sには、容積95リットルのコンパクトな真空チャンバーと、優れた温度均一性を実現する6セグメントのクォーツチャンバーライナーが装備されています。この設計は± 1。2°Cの温度の均等性の1,400°Cまで速く、精密な温度調整を、可能にします。さらに、強制空冷ヒーター装置は、長期使用のために性能を維持し最適化するように設計されています。アルファ8Sには、アルゴン、ヘリウム、窒素、酸素などの多数のガスや、水素や重水素などの反応性ガスを提供することができる高精度のガス分布システムが装備されています。このガス供給ユニットは、ほとんどの拡散プロセスにとって極めて重要です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、安全性と信頼性を確保するために設計された様々な高度な機能を備えています。炉内の任意の場所でオゾン濃度を検出するオゾンモニター、高速圧力制御、過温度障害を防止するための高速過電流監視機能、加熱室の温度を監視および制御する赤外線ヒーター温度センサーなどがあります。TEL ALPHA-8 Sは、プロセスチャンバーの汚染を防止する保護ハウジングや、開閉ドアや窓を検知する光学モニタリングツールなど、クリーンルーム環境での信頼性の高い動作を目指して設計されています。最後に、東京エレクトロンALPHA-8Sには、温度、圧力、プロセス時間などの重要なプロセスパラメータを記録できるデータロギングアセットが装備されています。このデータはリモートからアクセスし、後で分析するためにPCファイルに保存することができます。東京エレクトロンアルファ8Sは、半導体や電子デバイスの各種精密加工用に設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、コンパクトな真空チャンバー、温度均一性、高精度ガス供給モデル、高度な安全機能を備え、高性能な製造プロセスに最適です。
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