中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9054816 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体デバイスの製造に使用される拡散炉およびアクセサリーパッケージです。バルクレベルとデバイスレベルの両方のプロセスに使用できる多目的機器です。TEL ALPHA-8Sは、最大処理温度1,250°Cまでの垂直型拡散炉です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは専用カセットを設置することで垂直展開が可能なシングルチャンバー炉です。必要に応じて、カセットをチャンバーから完全に取り外すこともできます。この柔軟性により、カセットを変更することなく、異なるプロセスパラメータをチャンバに適用できます。カセットはまた、処理段階でウェーハカセットを収容するように設計されています。ALPHA 8 Sは、チャンバー内の均一な温度を確保するために放射ヒーター制御技術を使用しています。この機能により、蒸着およびエッチング工程において、電気構造とフィルム構造の両方の優れた均一性が保証されます。これらの高温プロセス結果は、せん断力解析やピロメーター解析技術などの高度な分析技術によっても裏付けられています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは全自動ガスフロー制御システムを搭載しています。このユニットは、優れたガス流量制御を提供するために炉のガスの温度を調整するように設計されています。自動ガス流量制御機能により、プロセス障害に関連する周囲空気からの汚染も最小限に抑えられます。東京電子ALPHA-8 Sには、これらの機能に加えて、機械の効率的な動作を容易にするための多数のアクセサリーが付属しています。これには、プロセスガス供給、自動キャリアおよびカセットのアンロードツール、キャリアベーキングシステム、コンピュータ制御資産が含まれます。コンピュータ制御モデルは、リアルタイムのプロセス監視を可能にし、オペレータは必要に応じて調整を行うことができます。アルファ8S拡散炉とアクセサリーパッケージは、高品質の半導体デバイスを確実かつ効率的に製造するように設計された高品質の機器です。高度なヘザー、ガス、コンピュータ制御機能を組み合わせたTEL Alpha 8Sは、あらゆるウェハ加工プロセスに最適です。