中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293829894 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293829894
Furnace Process: TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体・マイクロエレクトロニクス分野で使用される拡散炉です。TEL ALPHA-8Sは、デバイス基板の高速かつ効率的で高品質なドーピングを可能にする最先端の拡散装置です。ドープされた領域の正確な均一性を確保するための高度なハードウェアおよびソフトウェア機能を備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、プロセス圧力用に最大1,300℃ mbar、最大1200 mbarの温度範囲を備えています。また、熱を均等に分散させる独自の発熱体設計を採用し、より高い精度を実現しています。炉はまた、効率的で一貫した動作を確保するために、高度なポンプ制御システムを備えています。また、振動反応設計が低く、外部の振動絶縁システムを必要としません。また、Alpha 8Sは、停電時の損傷を防ぐために、安全機能を内蔵した自動シャットダウンシステムを内蔵しています。自動シャットダウン機能により、プロセスの過負荷や延長によるユニット損傷のリスクも大幅に低減します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには、加熱素子、サセプタソース、ウェハホルダー、サセプターマウント、ソースプレート、プロセスコンテナ、クールダウントレイなど、さまざまな標準付属品が付属しています。これらの付属品はあらゆる実験室のセットアップへの継ぎ目が無い統合を可能にし、総機械のダウンタイムを減らします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、精度、スピード、効率を要求されるラボに最適です。その高度な機能は、ドープ基板の信頼性と一貫した性能と正確な均一性を保証します。さらに、低い振動反応設計と自動シャットダウンツールにより、信頼性が高く安全な選択肢となります。
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