中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293822718 を販売中
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ID: 293822718
ウェーハサイズ: 8"
Vertical Diffusion Furnace, 8"
HDD
Software
Temperature: 1050°C
No Quartzware
Densification
Wafer Transfer Robot
Standard Mechanical Interface (SMIF)
Process: Gate Oxidation.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、効率と生産性を高めるために設計された様々なアクセサリーを備えた先進的な拡散炉です。TEL ALPHA-8Sは、最新の高温酸化(HTO)技術により、複数の試料を同時に急速に熱処理することができます。頑丈な構造と特殊な部品により、幅広いプロセス温度範囲を正確に制御することができ、拡散、酸化、窒化などのさまざまな用途に適しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S独自のプロセスデザインにより、均一な加熱を実現し、以下の機能により高性能を実現します。5 x 10-1 Torrまでの真空は、大気ガスのロック解除機構を使用して達成することができます。高精度な二重温度・圧力出力制御装置を備え、均一な熱処理が可能です。低粒子環境は、効果的なフィルター交換システムとチャンバーの避難ユニットの組み合わせによって達成されます。さらに、そのシグネチャーデザインは、拡散プロセスにおける周囲空気の影響を排除し、効率的な処理時間と改善された結果をもたらします。TEL Alpha 8Sには、ユーザーエクスペリエンスを最大化するための強化されたアクセサリーも含まれています。自動ガスのパススルーマシンは、毎回チャンバードアを開くことなく、複数のガスに迅速かつ信頼性の高いアクセスを可能にし、自動フィードバックシグナリングツールは、迅速にプロセスの不規則性を通知し、即時の修正を可能にします。耐食性のある炭化ケイ素の重ね合わせ機構は摩耗を防ぎ、最高の性能を保障します。フロントサイドのウェーハトランスポートアクセサリーは、簡単なアクセスと拡張使用を可能にします。全体的に、ALPHA 8 S拡散炉とアクセサリは、熱処理の高精度で均一な制御を提供します。ユーザーフレンドリーなデザイン、堅牢な構造、高度なオートメーション機能、強化されたアクセサリーにより、TOKYO ELECTRON ALPHA-8S優れた結果を達成するための最上位の選択肢となっています。
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