中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816667 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、優れたエネルギー効率、精密温度制御などの高度な機能を提供する拡散炉です。TEL ALPHA-8Sは、高均一性を実現し、再現性の高い結果を実現する単室水平管型炉です。コストとエネルギー消費の両方において非常に効率的であり、最大8つの2インチ、4インチ、または6インチのウェーハに対応できる交換可能なウェーハホルダーとクオーツライナーで柔軟性を提供します。この炉は、均一な温度で校正できるセラミックヒーターを使用して、固体である単一の熱帯で設計されています。また、複数の材料のより正確な拡散のために、非常に低い熱勾配で正確な温度制御を提供する温度制御装置を備えています。safetysのために、それはまた、さまざまな内部圧力と温度レベルを監視するいくつかのセンサーとアラームだけでなく、緊急時にシャットオフを備えています。東京電子アルファ8 Sには、拡散、蒸着、酸化などの化学プロセスのエンジニアを支援する高度なソフトウェアコントロールパッケージが付属しています。このコントローラは、タイムコントロール、パラメトリックプログラミング、最大温度制御などの機能を備えた迅速なプログラミングを可能にします。炉は材料の安全そして信頼できる暖房を保障するために調節可能な高さの安全盾を含んでいます。メンテナンスフレンドリーな設計により、部品の交換がダウンタイムを減らすことができますが、スマートコーティングは洗浄時間を短縮し、システムの寿命を延ばすことができます。最後に、デルタ8Sには、生産性をさらに向上させるためのさまざまなアクセサリーが付属しています。これには、クールダウン時間を短縮するためのクールダウンブロワー、ローディング時間を短縮するウェーハローダー、さらには高精度な炉フィードバックのための高度な光学ピロメトリーを備えたオートサーマルイメージャーユニットが含まれます。また、より迅速な避難とより速いサーマルサイクルのための真空ポンプ機が付属しています。TOKYO ELECTRON Alpha 8S拡散炉は全体として、優れたエネルギー効率、高精度温度制御、およびさまざまな機能を提供し、一貫して信頼性の高い正確な結果を求めるエンジニアに最適です。安全性を考慮して設計されており、パフォーマンスを向上させるためのさまざまな便利なアクセサリーが付属しています。