中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816024 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、持続可能な半導体アプリケーション向けに設計された強力で信頼性の高い装置です。TEL ALPHA-8Sは、優れたヒーターの均一性、正確な温度の均一性、費用対効果の高い300mm基板機能により、より迅速で信頼性の高い拡散のための優れたプロセスを提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、3対1のガスマニホールドと統合ガス検出器を備えた高効率で強力なガス供給システムです。これにより、個々のガスを正確に制御し、正確な均一性を達成し、最適な拡散プロファイルを達成することができます。TEL ALPHA-8 Sは、均一な温度制御のための絶縁ゾーンを提供し、プロセス全体で比較的迅速に温度を設定できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sでは、安全で効率的な運転を実現するために、過圧防止機能を備えた最新の安全技術を採用しています。均一な温度制御を実現するために、TOKYO ELECTRON Alpha 8Sには、8つの独立して制御され、熱的に結合されたロードロックが装備されています。複数のロードロックにわたる精密な温度制御により、生産性とウェーハ冷却時間を向上させ、最適化されたウェーハ温度レベル制御を実現できます。ALPHA-8 Sには、高度なレシピとプロセス制御インターフェイスも含まれています。この直感的なコントロールユニットを使用すると、マウスを数回クリックするだけで、レシピやプロセスステップを作成、レビュー、監視、および調整できます。バッチ指向のソフトウェアは、ユーザーが必要に応じて即座に製品やレシピを調整できるようにすることで、プロセスに柔軟性を高めます。東京電子ALPHA-8Sは、これらの機能に加えて、特別なアクセサリーの広い範囲を提供しています。これには、リップルサプレッサ、触媒ポンプ、チャンバー、プロセスガス、ガスアナライザ、ヒーター、および150mmまでのウェーハ用のさまざまなホルダーが含まれます。これらのアクセサリーはすべて、ユーザーに信頼できる完全で効果的なパッケージを提供するように設計されています。全体として、ALPHA 8 Sは、信頼性と信頼性の高い半導体アプリケーション向けに設計された優れたプロセスと技術を備えた最先端の拡散炉です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高効率で高度な制御ツールを採用し、優れたヒーターの均一性と基板の互換性により、正確な温度制御と高速拡散を実現します。