中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816022 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体デバイスの製造に使用される拡散炉とその付属品です。最新の半導体メーカーの厳しい要求を満たすように設計されており、高いスループットと精度を実現しています。この拡散炉には、効率的なサーマルサイクル装置が装備されており、サーマルサイクルの均一性と再現性を保証します。さらに、炉には高度な予熱、冷却、操作制御が装備されており、優れたプロセス制御を保証します。この炉は、高温に耐え、均質な結果をもたらすことができるように、堅牢なステンレスフレームとシリンダーを使用して構築されています。この拡散炉は、最大1200°Cの温度範囲と、熱循環パラメータを制御するための4次元制御システムを備えています。また、炉室サイズは直径25cm、最大高さ300cmでスループットを高めています。拡散炉には、プロセスを強化するための複数のアクセサリーが装備されています。DNS （Digital Normalization Unit）を搭載し、プロファイル偏差を正確に補正し、プロセス制御を向上させます。さらに、半導体デバイスの抵抗を正規化するのに役立つ抵抗正規化マシン（RNS）が装備されています。また、電源の制御性と精度を高めるSet Point Tracking （SPT）ツールも搭載しています。TEL ALPHA-8Sには、ウェーハの温度をモニタリングするためのデュアルクリスタルモニター（DCM）や、炉内の水晶の位置も備えています。この炉には、ウェハ温度、圧力、位置などのパラメータを監視するためのData Out Interface （DOI）も装備されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S拡散炉とその付属品は、半導体デバイスの製造に非常に適しており、精度と精度で複雑なサーマルサイクルパラメータを処理することができます。その強化された制御システムは、優れたプロセス制御と再現性を提供し、高精度のサーマルサイクルを正確に処理します。優れた性能を求める半導体デバイスの製造に最適です。